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VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER VERBINDUNG ZWISCHEN ZWEI KERAMIKTEILEN, INSBESONDERE VON TEILEN EINES DRUCKSENSORS
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier Keramikteile umfasst: Bereitstellen (110) eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen (130) eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess, wobei erfindungsgemäß das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils durch ein Sputterverfahren (130) bereitgestellt wird, wobei zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mit einer Schichtfolge (131, 132, 133) der einzelnen Komponenten des Aktivhartlotmaterials beschichtet wird, wobei die mittlere Stärke der Schichten einer einzelnen Komponente des Aktivhartlots nicht mehr als 0,5%, insbesondere nicht mehr als 0,2%, vorzugsweise nicht mehr als 0,1% und besonders bevorzugt nicht mehr als 0,05% der Stärke der Fügestelle beträgt.
The method according to the invention for producing a connection between two surfaces or surface sections of two ceramic parts comprises: provision (110) of a first ceramic part and of a second ceramic part; provision (130) of an active brazing solder material on at least one surface section of at least one of the ceramic parts; and heating the active brazing solder in a vacuum brazing process, wherein, according to the invention, the whole active brazing solder material is provided for connecting the first and the second ceramic part by a sputtering method (130), wherein at least one surface section of at least one of the ceramic parts, preferably of the two ceramic parts, is layered with a layer sequence (131, 132, 133) of individual components of the active brazing solder material, wherein the average strength of the layers of an individual component of the active brazing solder is no more than 0.5%, in particular not more than 0.2%, preferably not more than 0.1% and especially preferably not more than 0.05% of the strength of the joining region.
L'invention concerne un procédé pour réaliser une liaison entre deux surfaces ou parties de surface de deux éléments en céramique, le procédé comprenant les étapes consistant à : produire (110) un premier élément en céramique et un second élément en céramique ; produire (130) une matière active de brasage fort sur au moins une partie de surface d'au moins une des éléments en céramique ; et chauffer la matière d'apport active de brasage fort dans un processus de brasage sous vide ; selon l'invention, toute la matière active de brasage fort est destinée à relier les premier et second éléments en céramique par un procédé de pulvérisation cathodique (130) ; au moins une partie de surface d'au moins un des éléments en céramique, de préférence les deux éléments en céramique, est revêtue d'une succession de couches (131, 132, 133) du composant individuel de la matière active de brasage fort ; l'épaisseur moyenne des couches d'un composant individuel de la matière active de brasage fort est non supérieure à 0,5%, en particulier non supérieure à 0,2%, de préférence non supérieure à 0,1%, et plus préférentiellement non supérieure à 0,05%, de l'épaisseur du point d'assemblage.
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER VERBINDUNG ZWISCHEN ZWEI KERAMIKTEILEN, INSBESONDERE VON TEILEN EINES DRUCKSENSORS
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier Keramikteile umfasst: Bereitstellen (110) eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen (130) eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess, wobei erfindungsgemäß das gesamte Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils durch ein Sputterverfahren (130) bereitgestellt wird, wobei zumindest ein Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile, vorzugsweise beider Keramikteile, mit einer Schichtfolge (131, 132, 133) der einzelnen Komponenten des Aktivhartlotmaterials beschichtet wird, wobei die mittlere Stärke der Schichten einer einzelnen Komponente des Aktivhartlots nicht mehr als 0,5%, insbesondere nicht mehr als 0,2%, vorzugsweise nicht mehr als 0,1% und besonders bevorzugt nicht mehr als 0,05% der Stärke der Fügestelle beträgt.
The method according to the invention for producing a connection between two surfaces or surface sections of two ceramic parts comprises: provision (110) of a first ceramic part and of a second ceramic part; provision (130) of an active brazing solder material on at least one surface section of at least one of the ceramic parts; and heating the active brazing solder in a vacuum brazing process, wherein, according to the invention, the whole active brazing solder material is provided for connecting the first and the second ceramic part by a sputtering method (130), wherein at least one surface section of at least one of the ceramic parts, preferably of the two ceramic parts, is layered with a layer sequence (131, 132, 133) of individual components of the active brazing solder material, wherein the average strength of the layers of an individual component of the active brazing solder is no more than 0.5%, in particular not more than 0.2%, preferably not more than 0.1% and especially preferably not more than 0.05% of the strength of the joining region.
L'invention concerne un procédé pour réaliser une liaison entre deux surfaces ou parties de surface de deux éléments en céramique, le procédé comprenant les étapes consistant à : produire (110) un premier élément en céramique et un second élément en céramique ; produire (130) une matière active de brasage fort sur au moins une partie de surface d'au moins une des éléments en céramique ; et chauffer la matière d'apport active de brasage fort dans un processus de brasage sous vide ; selon l'invention, toute la matière active de brasage fort est destinée à relier les premier et second éléments en céramique par un procédé de pulvérisation cathodique (130) ; au moins une partie de surface d'au moins un des éléments en céramique, de préférence les deux éléments en céramique, est revêtue d'une succession de couches (131, 132, 133) du composant individuel de la matière active de brasage fort ; l'épaisseur moyenne des couches d'un composant individuel de la matière active de brasage fort est non supérieure à 0,5%, en particulier non supérieure à 0,2%, de préférence non supérieure à 0,1%, et plus préférentiellement non supérieure à 0,05%, de l'épaisseur du point d'assemblage.
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER VERBINDUNG ZWISCHEN ZWEI KERAMIKTEILEN, INSBESONDERE VON TEILEN EINES DRUCKSENSORS
METHOD FOR PRODUCING A CONNECTION BETWEEN TWO CERAMIC PARTS, IN PARTICULAR OF PARTS OF A PRESSURE SENSOR
PROCÉDÉ POUR RÉALISER UNE LIAISON ENTRE DEUX ÉLÉMENTS EN CÉRAMIQUE, NOTAMMENT DES ÉLÉMENTS D'UN CAPTEUR DE PRESSION
DREWES ULFERT (author) / PONATH NILS (author) / ROSSBERG ANDREAS (author) / THAM ANH TUAN (author)
2016-03-31
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B23K
Löten
,
SOLDERING OR UNSOLDERING
/
G01F
Messen des Volumens, des Durchflussvolumens, des Massendurchflusses oder des Füllstandes
,
MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW, OR LIQUID LEVEL
/
G01L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
,
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
European Patent Office | 2017
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|European Patent Office | 2016
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