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SIALON-SINTERKÖRPER, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG, VERBUNDSUBSTRAT UND ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG
Ein SiAlON-Sinterkörper gemäß der vorliegenden Erfindung ist durch Si6-zAlzOzN8-z (0 < z ≤ 4,2) dargestellt und weist eine offene Porosität von 0,1% oder weniger und eine relative Dichte von 99,9% oder mehr auf. Das Verhältnis der Gesamtheit von Intensitäten von maximalen Peaks von Komponenten, die von SiAlON verschieden sind, zu der Intensität eines maximalen Peaks des SiAlON in einem Röntgenbeugungsdiagramm beträgt 0,005 oder weniger.
A SiAlON sintered body according to the present invention is represented by Si6-zAlzOzN8-z (0
SIALON-SINTERKÖRPER, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG, VERBUNDSUBSTRAT UND ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG
Ein SiAlON-Sinterkörper gemäß der vorliegenden Erfindung ist durch Si6-zAlzOzN8-z (0 < z ≤ 4,2) dargestellt und weist eine offene Porosität von 0,1% oder weniger und eine relative Dichte von 99,9% oder mehr auf. Das Verhältnis der Gesamtheit von Intensitäten von maximalen Peaks von Komponenten, die von SiAlON verschieden sind, zu der Intensität eines maximalen Peaks des SiAlON in einem Röntgenbeugungsdiagramm beträgt 0,005 oder weniger.
A SiAlON sintered body according to the present invention is represented by Si6-zAlzOzN8-z (0
SIALON-SINTERKÖRPER, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG, VERBUNDSUBSTRAT UND ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG
NOMOTO YUKI (author) / INOUE KATSUHIRO (author) / TANAKA KEI (author) / KATSUDA YUJI (author)
2018-03-22
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Aluminiumoxid-Sinterkörper und Verfahren zu dessen Herstellung
| European Patent Office | 2024
SINTERKÖRPER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SINTERKÖRPERS
European Patent Office | 2024