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Trägersubstrat für Verbundsubstrat und Verbundsubstrat
Trägersubstrat für ein Verbundsubstrat, wobei das Trägersubstrat eine Keramik umfasst und eine polierte Oberfläche aufweist, zur Verwendung beim Bonden:wobei der Orientierungsgrad der Keramik an der polierten Oberfläche 50 % oder mehr beträgt;wobei das Aspektverhältnis der das Trägersubstrat bildenden Kristallkörner 5,0 oder weniger beträgt; undwobei der mikroskopische arithmetische Mittenrauwert Ra der polierten Oberfläche des Trägersubstrats 30 nm oder weniger beträgt.
A supporting substrate for a composite substrate comprises a ceramic and has a polished surface for use in bonding. An orientation degree of the ceramic forming the supporting substrate at the polished surface is 50% or higher, and an aspect ratio of each crystal grain included in the supporting substrate is 5.0 or less.
Trägersubstrat für Verbundsubstrat und Verbundsubstrat
Trägersubstrat für ein Verbundsubstrat, wobei das Trägersubstrat eine Keramik umfasst und eine polierte Oberfläche aufweist, zur Verwendung beim Bonden:wobei der Orientierungsgrad der Keramik an der polierten Oberfläche 50 % oder mehr beträgt;wobei das Aspektverhältnis der das Trägersubstrat bildenden Kristallkörner 5,0 oder weniger beträgt; undwobei der mikroskopische arithmetische Mittenrauwert Ra der polierten Oberfläche des Trägersubstrats 30 nm oder weniger beträgt.
A supporting substrate for a composite substrate comprises a ceramic and has a polished surface for use in bonding. An orientation degree of the ceramic forming the supporting substrate at the polished surface is 50% or higher, and an aspect ratio of each crystal grain included in the supporting substrate is 5.0 or less.
Trägersubstrat für Verbundsubstrat und Verbundsubstrat
YOSHIKAWA JUN (author) / ICHIMURA MIKIYA (author) / IMAI KATSUHIRO (author)
2018-10-18
Patent
Electronic Resource
German
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