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OXYNITRIDE THIN FILM AND CAPACITIVE ELEMENT
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric thin film superior in dielectric characteristics and a capacitive element.SOLUTION: A dielectric thin film comprises a main composition represented by the composition formula, ABON(a+b+o+n=5) including an oxynitride, where A represents one or more of Sr, Ba, Ca, La, Ce, Pr, Nd, Na, and B represents one or more of Ta, Nb, Ti, W. Crystal grains that the dielectric thin film includes are polycrystalline not oriented in a particular crystal plane direction. Crystallites of crystal grains included in the dielectric thin film are 100 nm or less in size.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】 誘電特性に優れる誘電体薄膜および容量素子を提供すること。【解決手段】 組成式ＡａＢｂＯｏＮｎ（ａ＋ｂ＋ｏ＋ｎ＝５）で表される酸窒化物から成る主組成を有する誘電体薄膜であって、前記ＡはＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｎａのいずれか１つ以上であり、前記ＢはＴａ，Ｎｂ，Ｔｉ，Ｗのいずれか１つ以上であり、前記誘電体薄膜を構成する結晶粒子は、ある特定の結晶面方位に配向していない多結晶であり、前記誘電体薄膜に含まれる結晶粒子の結晶子のサイズが１００ｎｍ以下であることを特徴とする誘電体薄膜。【選択図】 図１
OXYNITRIDE THIN FILM AND CAPACITIVE ELEMENT
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric thin film superior in dielectric characteristics and a capacitive element.SOLUTION: A dielectric thin film comprises a main composition represented by the composition formula, ABON(a+b+o+n=5) including an oxynitride, where A represents one or more of Sr, Ba, Ca, La, Ce, Pr, Nd, Na, and B represents one or more of Ta, Nb, Ti, W. Crystal grains that the dielectric thin film includes are polycrystalline not oriented in a particular crystal plane direction. Crystallites of crystal grains included in the dielectric thin film are 100 nm or less in size.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】 誘電特性に優れる誘電体薄膜および容量素子を提供すること。【解決手段】 組成式ＡａＢｂＯｏＮｎ（ａ＋ｂ＋ｏ＋ｎ＝５）で表される酸窒化物から成る主組成を有する誘電体薄膜であって、前記ＡはＳｒ，Ｂａ，Ｃａ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｎａのいずれか１つ以上であり、前記ＢはＴａ，Ｎｂ，Ｔｉ，Ｗのいずれか１つ以上であり、前記誘電体薄膜を構成する結晶粒子は、ある特定の結晶面方位に配向していない多結晶であり、前記誘電体薄膜に含まれる結晶粒子の結晶子のサイズが１００ｎｍ以下であることを特徴とする誘電体薄膜。【選択図】 図１
OXYNITRIDE THIN FILM AND CAPACITIVE ELEMENT
酸窒化物薄膜および容量素子
SHIBAHARA TAKESHI (author) / NAGAMINE YUKI (author) / TANAKA MICHI (author) / YAMAZAKI KUMIKO (author)
2018-11-08
Patent
Electronic Resource
Japanese