A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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IGZO SPUTTERING TARGET
To provide IGZO sputtering target capable of suppressing an influence on a sputtering condition or on obtained IGZO membrane characteristic, according to a target life when using the sputtering target.SOLUTION: In IGZO sputtering target, which is a sputtering target having an oxide sintered body comprising indium (In), gallium (Ga), zinc (Zn), oxygen (O) and inevitable impurities, the minimum value Rmin(mΩ-cm) and the maximum value Rmax(mΩ-cm) of a bulk resistance in the thickness direction of the oxide sintered body satisfy Rmin≥50 mΩ-cm, Rmax≤200 mΩ-cm, Rmax/Rmin≤1.3.SELECTED DRAWING: None
【課題】本発明は、スパッタリングターゲットの使用時のターゲットライフによって、スパッタリング条件や得られたＩＧＺＯの膜特性への影響を抑制可能なＩＧＺＯスパッタリングターゲットを提供することを目的とする。【解決手段】本発明のＩＧＺＯスパッタリングターゲットは、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）、酸素（Ｏ）及び不可避的不純物からなる酸化物焼結体を有するスパッタリングターゲットであって、前記酸化物焼結体の厚み方向でのバルク抵抗の最小値Ｒｍｉｎ（ｍΩ・ｃｍ）および最大値Ｒｍａｘ（ｍΩ・ｃｍ）は、Ｒｍｉｎ≧５０ｍΩ・ｃｍ、Ｒｍａｘ≦２００ｍΩ・ｃｍ、Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ≦１．３を満たすことを特徴とする。【選択図】なし
IGZO SPUTTERING TARGET
To provide IGZO sputtering target capable of suppressing an influence on a sputtering condition or on obtained IGZO membrane characteristic, according to a target life when using the sputtering target.SOLUTION: In IGZO sputtering target, which is a sputtering target having an oxide sintered body comprising indium (In), gallium (Ga), zinc (Zn), oxygen (O) and inevitable impurities, the minimum value Rmin(mΩ-cm) and the maximum value Rmax(mΩ-cm) of a bulk resistance in the thickness direction of the oxide sintered body satisfy Rmin≥50 mΩ-cm, Rmax≤200 mΩ-cm, Rmax/Rmin≤1.3.SELECTED DRAWING: None
【課題】本発明は、スパッタリングターゲットの使用時のターゲットライフによって、スパッタリング条件や得られたＩＧＺＯの膜特性への影響を抑制可能なＩＧＺＯスパッタリングターゲットを提供することを目的とする。【解決手段】本発明のＩＧＺＯスパッタリングターゲットは、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、亜鉛（Ｚｎ）、酸素（Ｏ）及び不可避的不純物からなる酸化物焼結体を有するスパッタリングターゲットであって、前記酸化物焼結体の厚み方向でのバルク抵抗の最小値Ｒｍｉｎ（ｍΩ・ｃｍ）および最大値Ｒｍａｘ（ｍΩ・ｃｍ）は、Ｒｍｉｎ≧５０ｍΩ・ｃｍ、Ｒｍａｘ≦２００ｍΩ・ｃｍ、Ｒｍａｘ／Ｒｍｉｎ≦１．３を満たすことを特徴とする。【選択図】なし
IGZO SPUTTERING TARGET
ＩＧＺＯスパッタリングターゲット
KUWANA YUHEI (author) / OSADA KOZO (author) / MURAI KAZUTAKA (author) / MIZUFUJI KOSUKE (author)
2022-07-26
Patent
Electronic Resource
Japanese