A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SUSCEPTOR FOR HIGH-TEMPERATURE USE HAVING SHAFT WITH LOW THERMAL CONDUCTIVITY
To provide a susceptor for high-temperature use having a shaft with low thermal conductivity.SOLUTION: The susceptor includes a plate for wafer mounting, and a shaft coupled to the plate. The plate and the shaft each include a sintered body having 90 wt.% or more of an AlN phase. The sintered body of the plate is a magnesium-containing AlN sintered body having a volume resistance of 5*108 Ω cm or more at 650°C. The sintered body of the shaft is an AlN sintered body having a thermal conductivity of 100 W/mK or less.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】低熱伝導のシャフトを備える高温用サセプタを提供する。【解決手段】本発明は、ウエハの安着のためのプレート、及びプレートに結合したシャフトを含むサセプタであって、プレート及びシャフトはそれぞれ、ＡｌＮ相が９０ｗｔ％以上である焼結体を含み、プレートの焼結体は、６５０℃で体積抵抗が５＊１０８Ω・ｃｍ以上であるマグネシウム含有ＡｌＮ焼結体であり、シャフトの焼結体は、熱伝導度が１００Ｗ／ｍＫ以下であるＡｌＮ焼結体であることを特徴とするサセプタを提供する。【選択図】図２
SUSCEPTOR FOR HIGH-TEMPERATURE USE HAVING SHAFT WITH LOW THERMAL CONDUCTIVITY
To provide a susceptor for high-temperature use having a shaft with low thermal conductivity.SOLUTION: The susceptor includes a plate for wafer mounting, and a shaft coupled to the plate. The plate and the shaft each include a sintered body having 90 wt.% or more of an AlN phase. The sintered body of the plate is a magnesium-containing AlN sintered body having a volume resistance of 5*108 Ω cm or more at 650°C. The sintered body of the shaft is an AlN sintered body having a thermal conductivity of 100 W/mK or less.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】低熱伝導のシャフトを備える高温用サセプタを提供する。【解決手段】本発明は、ウエハの安着のためのプレート、及びプレートに結合したシャフトを含むサセプタであって、プレート及びシャフトはそれぞれ、ＡｌＮ相が９０ｗｔ％以上である焼結体を含み、プレートの焼結体は、６５０℃で体積抵抗が５＊１０８Ω・ｃｍ以上であるマグネシウム含有ＡｌＮ焼結体であり、シャフトの焼結体は、熱伝導度が１００Ｗ／ｍＫ以下であるＡｌＮ焼結体であることを特徴とするサセプタを提供する。【選択図】図２
SUSCEPTOR FOR HIGH-TEMPERATURE USE HAVING SHAFT WITH LOW THERMAL CONDUCTIVITY
低熱伝導シャフトを備える高温用サセプタ
JIN JUNG CHUL (author)
2023-04-05
Patent
Electronic Resource
Japanese
High-temperature susceptor with shaft having low thermal conductivity
| European Patent Office | 2022
High Temperature Microwave Susceptor and Manufacturing Method Thereof
| European Patent Office | 2017
GRANULAR SUSCEPTOR MATERIAL FOR MICROWAVE THERMAL PROCESSING
| European Patent Office | 2022