A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC SUSCEPTOR HAVING HYBRID COATING
통상의 세라믹 서셉터에 비하여 특히 고온에서의 체적 저항과 상온에서의 열전도도가 우수할 뿐만 아니라, 고온의 환경에서도 코팅층의 박리 없이 우수한 내플라즈마성을 보유하고 있으며, 그에 따른 파티클 저감 효과를 가지는 세라믹 서셉터가 개시된다.
CERAMIC SUSCEPTOR HAVING HYBRID COATING
통상의 세라믹 서셉터에 비하여 특히 고온에서의 체적 저항과 상온에서의 열전도도가 우수할 뿐만 아니라, 고온의 환경에서도 코팅층의 박리 없이 우수한 내플라즈마성을 보유하고 있으며, 그에 따른 파티클 저감 효과를 가지는 세라믹 서셉터가 개시된다.
CERAMIC SUSCEPTOR HAVING HYBRID COATING
하이브리드 코팅을 포함하는 세라믹 서셉터
2025-02-04
Patent
Electronic Resource
Korean