A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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YTTRIUM OXIDE SINTERED BODY AND COMPONENTS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
To provide an yttrium oxide sintered body capable of increasing resistance to corrosive chemicals while maintaining high resistance to plasma and corrosive chemicals, and to provide a component for a semiconductor manufacturing apparatus.SOLUTION: An yttrium oxide sintered body is composed mainly of yttrium oxide and contains 0.1 to 5.0 wt% of zirconium in terms of ZrO2. By adding a certain amount of zirconium oxide to yttrium oxide, there can be obtained yttrium oxide sintered body having improve resistance to corrosive chemicals while maintaining excellent resistance to plasma and corrosive gases.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】プラズマや腐食性のガスに対する優れた耐性を維持しつつ、腐食性の化学薬品に対する耐性を高くすることができる酸化イットリウム質焼結体、および半導体製造装置用部材を提供する。【解決手段】酸化イットリウム質焼結体であって、酸化イットリウムを主成分とし、ＺｒＯ２換算でジルコニウムを０．１ｗｔ％以上５．０ｗｔ％以下含む。このように、酸化イットリウムに一定量の酸化ジルコニウムを含む酸化イットリウム質焼結体とすることで、プラズマや腐食性のガスに対する優れた耐性を維持しつつ、腐食性の化学薬品に対する耐性を高くすることができる。【選択図】図１
YTTRIUM OXIDE SINTERED BODY AND COMPONENTS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
To provide an yttrium oxide sintered body capable of increasing resistance to corrosive chemicals while maintaining high resistance to plasma and corrosive chemicals, and to provide a component for a semiconductor manufacturing apparatus.SOLUTION: An yttrium oxide sintered body is composed mainly of yttrium oxide and contains 0.1 to 5.0 wt% of zirconium in terms of ZrO2. By adding a certain amount of zirconium oxide to yttrium oxide, there can be obtained yttrium oxide sintered body having improve resistance to corrosive chemicals while maintaining excellent resistance to plasma and corrosive gases.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】プラズマや腐食性のガスに対する優れた耐性を維持しつつ、腐食性の化学薬品に対する耐性を高くすることができる酸化イットリウム質焼結体、および半導体製造装置用部材を提供する。【解決手段】酸化イットリウム質焼結体であって、酸化イットリウムを主成分とし、ＺｒＯ２換算でジルコニウムを０．１ｗｔ％以上５．０ｗｔ％以下含む。このように、酸化イットリウムに一定量の酸化ジルコニウムを含む酸化イットリウム質焼結体とすることで、プラズマや腐食性のガスに対する優れた耐性を維持しつつ、腐食性の化学薬品に対する耐性を高くすることができる。【選択図】図１
YTTRIUM OXIDE SINTERED BODY AND COMPONENTS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
酸化イットリウム質焼結体、および半導体製造装置用部材
TAKAHASHI YUKI (author)
2023-04-19
Patent
Electronic Resource
Japanese
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Yttrium oxide-based sintered body and semiconductor production system member
| European Patent Office | 2024
YTTRIUM OXIDE-BASED SINTERED BODY AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION SYSTEM MEMBER
| European Patent Office | 2023