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GREEN SHEET, MANUFACTURING METHOD OF GREEN SHEET, AND MANUFACTURING METHOD OF SILICON NITRIDE SINTERED BODY
To provide a green sheet which can suppress warpage of a silicon nitride sintered body, a manufacturing method of the green sheet, and a manufacturing method of the silicon nitride sintered body.SOLUTION: A green sheet includes a powder of silicon nitride or silicon, a sintering aid, and a binder. In the green sheet, a dispersion value V measured by the following method is 7.5(1/m) or under, wherein a measuring method of the dispersion value V includes: forming a cross section of the green sheet; setting measurement areas A1 to A10 in the cross section; measuring ratios x1 to x10 which are ratios of a weight of C to a weight of Si in the measurement areas A1 to A10, respectively; calculating a gradient SLi of the ratio xi and the ratio xi+1; calculating an average value aveSL of the gradient SLi; and then calculating the dispersion value V.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】窒化珪素焼結体の反り量を抑制できるグリーンシート、グリーンシートの製造方法、及び窒化珪素焼結体の製造方法を提供すること。【解決手段】グリーンシートは、窒化珪素又は珪素の粉末と、焼結助剤と、バインダーとを含む。グリーンシートにおいて、以下の方法で測定する分散値Ｖは７．５（１／ｍ）以下である。前記分散値Ｖの測定方法：前記グリーンシートの断面を形成する。前記断面に測定領域Ａ１～Ａ１０を設定する。前記測定領域Ａ１～Ａ１０のそれぞれにおいて、Ｓｉの重量に対するＣの重量の比率である比率ｘ１～ｘ１０を測定する。次に、比率ｘｉと比率ｘｉ＋１との勾配ＳＬｉを算出する。次に、前記勾配ＳＬｉの平均値aveＳＬを算出する。次に、前記分散値Ｖを算出する。【選択図】図１
GREEN SHEET, MANUFACTURING METHOD OF GREEN SHEET, AND MANUFACTURING METHOD OF SILICON NITRIDE SINTERED BODY
To provide a green sheet which can suppress warpage of a silicon nitride sintered body, a manufacturing method of the green sheet, and a manufacturing method of the silicon nitride sintered body.SOLUTION: A green sheet includes a powder of silicon nitride or silicon, a sintering aid, and a binder. In the green sheet, a dispersion value V measured by the following method is 7.5(1/m) or under, wherein a measuring method of the dispersion value V includes: forming a cross section of the green sheet; setting measurement areas A1 to A10 in the cross section; measuring ratios x1 to x10 which are ratios of a weight of C to a weight of Si in the measurement areas A1 to A10, respectively; calculating a gradient SLi of the ratio xi and the ratio xi+1; calculating an average value aveSL of the gradient SLi; and then calculating the dispersion value V.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】窒化珪素焼結体の反り量を抑制できるグリーンシート、グリーンシートの製造方法、及び窒化珪素焼結体の製造方法を提供すること。【解決手段】グリーンシートは、窒化珪素又は珪素の粉末と、焼結助剤と、バインダーとを含む。グリーンシートにおいて、以下の方法で測定する分散値Ｖは７．５（１／ｍ）以下である。前記分散値Ｖの測定方法：前記グリーンシートの断面を形成する。前記断面に測定領域Ａ１～Ａ１０を設定する。前記測定領域Ａ１～Ａ１０のそれぞれにおいて、Ｓｉの重量に対するＣの重量の比率である比率ｘ１～ｘ１０を測定する。次に、比率ｘｉと比率ｘｉ＋１との勾配ＳＬｉを算出する。次に、前記勾配ＳＬｉの平均値aveＳＬを算出する。次に、前記分散値Ｖを算出する。【選択図】図１
GREEN SHEET, MANUFACTURING METHOD OF GREEN SHEET, AND MANUFACTURING METHOD OF SILICON NITRIDE SINTERED BODY
グリーンシート、グリーンシートの製造方法、及び窒化珪素焼結体の製造方法
KAGA MASAFUMI (author) / SEKIKAWA AKIRA (author) / SASAMURA TATSUYA (author)
2024-04-11
Patent
Electronic Resource
Japanese
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
C01B
NON-METALLIC ELEMENTS
,
Nichtmetallische Elemente
| European Patent Office | 2024
| European Patent Office | 2022
| European Patent Office | 2023
Green sheet, method for producing silicon nitride sintered body, and silicon nitride sintered body
| European Patent Office | 2024
METHOD FOR MANUFACTURING BORON NITRIDE SINTERED BODY SHEET, AND SINTERED BODY SHEET
| European Patent Office | 2022