A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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- CERAMIC-METAL JUNCTION AND METHOD OF FABRICATING SAME
먼저, 플레이트(22)와, 냉각판(28)과, 아크릴 수지제이며 양면 점착성의 접합 시트(32)를 준비한다. 다음에, 냉각판(28)의 상면에 접합 시트(32)를 접착한다. 그리고, 접합 시트(32)가 접착된 냉각판(28)을 진공 건조기 안에 설치하여, 건조기 내 압력을 2000Pa 이하로 감압하고, 그 상태로 프리베이크 처리를 실시한다. 프리베이크 처리는 120∼130℃에서 15∼40시간 처리하고, 그 후 진공중에서 자연 냉각한다. 프리베이크 처리 후, 냉각판(28)에 접착된 접합 시트(32)의 상면에 플레이트(22)의 하면이 일치하도록 적층하고, 그것을 내열 수지백 안에 넣은 후 오토클레이브에 넣어, 가압 가열하에서 수시간 처리함으로써, 정전척(20)을 얻는다.
- CERAMIC-METAL JUNCTION AND METHOD OF FABRICATING SAME
먼저, 플레이트(22)와, 냉각판(28)과, 아크릴 수지제이며 양면 점착성의 접합 시트(32)를 준비한다. 다음에, 냉각판(28)의 상면에 접합 시트(32)를 접착한다. 그리고, 접합 시트(32)가 접착된 냉각판(28)을 진공 건조기 안에 설치하여, 건조기 내 압력을 2000Pa 이하로 감압하고, 그 상태로 프리베이크 처리를 실시한다. 프리베이크 처리는 120∼130℃에서 15∼40시간 처리하고, 그 후 진공중에서 자연 냉각한다. 프리베이크 처리 후, 냉각판(28)에 접착된 접합 시트(32)의 상면에 플레이트(22)의 하면이 일치하도록 적층하고, 그것을 내열 수지백 안에 넣은 후 오토클레이브에 넣어, 가압 가열하에서 수시간 처리함으로써, 정전척(20)을 얻는다.
- CERAMIC-METAL JUNCTION AND METHOD OF FABRICATING SAME
세라믹스-금속 접합체 및 그 제조 방법
2016-09-21
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B32B
LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
,
Schichtkörper, d.h. aus Ebenen oder gewölbten Schichten, z.B. mit zell- oder wabenförmiger Form, aufgebaute Erzeugnisse
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
METHOD FOR FABRICATING A METAL-CERAMIC COMPOSITE ARTICLE
| European Patent Office | 2023
JUNCTION BETWEEN CERAMIC AND METAL, AND METHOD FOR JOINING CERAMIC TO METAL
| European Patent Office | 2016