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OXIDE EVAPORATION MATERIAL AND HIGH-REFRACTIVE-INDEX TRANSPARENT FILM
본 발명의 산화물 증착재는 산화인듐을 주성분으로 하고, Ce/In 원자수비로 0.110을 초과하고 0.538 이하의 세륨을 포함하는 소결체에 의해 구성되고, CIE 1976 표색계에서의 L값이 62∼95인 것을 특징으로 한다. L값이 62∼95인 상기 산화물 증착재는 최적의 산소량을 갖기 때문에, 성막 진공조로의 산소 가스 도입량이 적어도 파장 550nm에서의 굴절률이 2.15∼2.51의 저저항이고 가시역부터 근적외역에서의 고투과성의 고굴절률 투명막을 진공증착법으로 제조할 수 있고, 산소 가스의 도입량이 적기 때문에 막과 증착재와의 조성차를 작게 할 수 있다.
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본 발명의 산화물 증착재는 산화인듐을 주성분으로 하고, Ce/In 원자수비로 0.110을 초과하고 0.538 이하의 세륨을 포함하는 소결체에 의해 구성되고, CIE 1976 표색계에서의 L값이 62∼95인 것을 특징으로 한다. L값이 62∼95인 상기 산화물 증착재는 최적의 산소량을 갖기 때문에, 성막 진공조로의 산소 가스 도입량이 적어도 파장 550nm에서의 굴절률이 2.15∼2.51의 저저항이고 가시역부터 근적외역에서의 고투과성의 고굴절률 투명막을 진공증착법으로 제조할 수 있고, 산소 가스의 도입량이 적기 때문에 막과 증착재와의 조성차를 작게 할 수 있다.
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산화물 증착재와 고굴절률 투명막
2017-08-09
Patent
Electronic Resource
Korean
OXIDE EVAPORATION MATERIAL AND HIGH-REFRACTIVE-INDEX TRANSPARENT FILM
European Patent Office | 2017
|Oxide evaporation material, transparent conducting film, and solar cell
European Patent Office | 2015
|High refractive index TiO~2 film deposited by electron beam evaporation
British Library Online Contents | 2009
|Transparent high refractive index nanocomposite thin films
British Library Online Contents | 2007
|Low-stress high-refractive-index film, material and preparation method
European Patent Office | 2022
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