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Manufacturing method of silicon nitride sintered body having high thermal conductivity
본 발명은, 질화규소 분말, Ti, Ta, W 및 Nb 중에서 선택된 1종 이상의 전이금속 분말, MgO 분말 및 YO분말을 혼합하여 혼합분말을 형성하는 단계와, 상기 혼합분말을 목표하는 형태로 성형하는 단계 및 성형된 결과물을 소결하는 단계를 포함하는 질화규소 소결체의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 질화규소의 표면에 존재하는 산소 불순물이 결정 내부로 이동하는 것을 억제하여 입자 또는 입계에 존재하는 불순물의 양이 최소화되고 열전도 특성을 향상시킬 수 있다.
Manufacturing method of silicon nitride sintered body having high thermal conductivity
본 발명은, 질화규소 분말, Ti, Ta, W 및 Nb 중에서 선택된 1종 이상의 전이금속 분말, MgO 분말 및 YO분말을 혼합하여 혼합분말을 형성하는 단계와, 상기 혼합분말을 목표하는 형태로 성형하는 단계 및 성형된 결과물을 소결하는 단계를 포함하는 질화규소 소결체의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 질화규소의 표면에 존재하는 산소 불순물이 결정 내부로 이동하는 것을 억제하여 입자 또는 입계에 존재하는 불순물의 양이 최소화되고 열전도 특성을 향상시킬 수 있다.
Manufacturing method of silicon nitride sintered body having high thermal conductivity
열전도성이 우수한 질화규소 소결체의 제조방법
2017-11-02
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Manufacturing method of silicon nitride sintered body having high thermal conductivity
| European Patent Office | 2017
Sintered silicon nitride having high thermal conductivity and Manufacturing method thereof
| European Patent Office | 2017
Sintered silicon nitride having high thermal conductivity and Manufacturing method thereof
European Patent Office | 2017
Manufacturing Of Sintered Silicon Nitride Body With High Thermal Conductivity
European Patent Office | 2019
Manufacturing Of Sintered Silicon Nitride Body With High Thermal Conductivity
| European Patent Office | 2018