A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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INGOT GROWING APPARATUS WITH HEATER AND METHOD FOR FABRICATING HEATER FOR THE SAME
Disclosed is an ingot growing apparatus including a heater, which comprises: a crucible for receiving molten silicon; a growing furnace having an inner space where the crucible is installed; a susceptor having an inner side formed of a shape corresponding to an outer side of the crucible to cover the outer side of the crucible; and a heater for heating the susceptor. The heater comprises: a coil which is fixed to a position a predetermined gap apart from the outer side of the susceptor, is formed to be wound along the outer side of the susceptor to generate magnetic field, and heats the susceptor by electromagnetic induction based on the magnetic fields; and a shield which is formed to cover the outer side of the coil to support the coil and blocks the coil from being exposed to the inner space of the growing furnace. According to the present invention, energy efficiency for heating the crucible can be improved.
잉곳 성장 장치가 개시된다. 본 발명의 일측면에 따른 히터를 포함하는 잉곳 성장 장치는, 용융된 실리콘을 수용하는 도가니; 상기 도가니가 설치되는 내부 공간을 갖는 성장로; 상기 도가니의 외측면을 감싸도록 상기 도가니의 외측면에 대응하는 형상으로 이루어진 내측면을 갖는 서셉터; 및 상기 서셉터를 가열하는 히터; 를 포함하고, 상기 히터는, 상기 서셉터의 외측면으로부터 소정 간격 이격된 위치에 고정되되 상기 서셉터의 외측면을 따라 감기도록 형성되어 자기장을 발생시키고, 상기 자기장에 의한 전자기 유도에 의해 상기 서셉터를 가열하는 코일; 및 상기 코일의 외측면을 감싸도록 형성되어 상기 코일을 지지하고, 상기 코일이 상기 성장로의 내부 공간에 노출되는 것을 차단하는 쉴드; 를 포함할 수 있다.
INGOT GROWING APPARATUS WITH HEATER AND METHOD FOR FABRICATING HEATER FOR THE SAME
Disclosed is an ingot growing apparatus including a heater, which comprises: a crucible for receiving molten silicon; a growing furnace having an inner space where the crucible is installed; a susceptor having an inner side formed of a shape corresponding to an outer side of the crucible to cover the outer side of the crucible; and a heater for heating the susceptor. The heater comprises: a coil which is fixed to a position a predetermined gap apart from the outer side of the susceptor, is formed to be wound along the outer side of the susceptor to generate magnetic field, and heats the susceptor by electromagnetic induction based on the magnetic fields; and a shield which is formed to cover the outer side of the coil to support the coil and blocks the coil from being exposed to the inner space of the growing furnace. According to the present invention, energy efficiency for heating the crucible can be improved.
잉곳 성장 장치가 개시된다. 본 발명의 일측면에 따른 히터를 포함하는 잉곳 성장 장치는, 용융된 실리콘을 수용하는 도가니; 상기 도가니가 설치되는 내부 공간을 갖는 성장로; 상기 도가니의 외측면을 감싸도록 상기 도가니의 외측면에 대응하는 형상으로 이루어진 내측면을 갖는 서셉터; 및 상기 서셉터를 가열하는 히터; 를 포함하고, 상기 히터는, 상기 서셉터의 외측면으로부터 소정 간격 이격된 위치에 고정되되 상기 서셉터의 외측면을 따라 감기도록 형성되어 자기장을 발생시키고, 상기 자기장에 의한 전자기 유도에 의해 상기 서셉터를 가열하는 코일; 및 상기 코일의 외측면을 감싸도록 형성되어 상기 코일을 지지하고, 상기 코일이 상기 성장로의 내부 공간에 노출되는 것을 차단하는 쉴드; 를 포함할 수 있다.
INGOT GROWING APPARATUS WITH HEATER AND METHOD FOR FABRICATING HEATER FOR THE SAME
히터를 포함하는 잉곳 성장 장치 및 잉곳 성장 장치용 히터의 제조 방법
JEON HAN WOONG (author) / LEE KYUNG SEOK (author) / LEE YOUNG JUN (author)
2021-07-01
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C30B
SINGLE-CRYSTAL GROWTH
,
Züchten von Einkristallen
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
H05B
ELECTRIC HEATING
,
Elektrische Heizung
| European Patent Office | 2022
SIDE HEATER EQUIPMENT, HEATER OPERATION MANAGEMENT SYSTEM, AND HEATER OPERATION MANAGEMENT METHOD
| European Patent Office | 2017
| European Patent Office | 2022