A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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INGOT GROWING APPARATUS COMPRISING HEATER AND METHOD FOR MANUFACTURING HEATER FOR INGOT GROWING APPARATUS
An ingot growing apparatus is disclosed. An ingot growing apparatus comprising a heater according to an aspect of the present invention may comprise: a crucible for accommodating molten silicon; a growth furnace having an inner space in which the crucible is installed; a susceptor having an inner surface shaped to correspond to the outer surface of the crucible and surrounding the outer surface of the crucible; and a heater for heating the susceptor, wherein the heater may comprise: a coil which is fixed at a position spaced a predetermined distance apart from the outer surface of the susceptor, is formed to be wound along the outer surface of the susceptor to generate a magnetic field, and heats the susceptor by electromagnetic induction due to the magnetic field; and a shield which is formed to surround the outer surface of the coil to support the coil and blocks the coil from being exposed to the inner space of the growth furnace.
Un appareil de croissance de lingot est divulgué. Un appareil de croissance de lingot comprenant un dispositif de chauffage selon un aspect de la présente invention peut comprendre : un creuset pour recevoir du silicium fondu ; un four de croissance ayant un espace interne dans lequel le creuset est installé ; un suscepteur ayant une surface interne formée pour correspondre à la surface externe du creuset et entourant la surface externe du creuset ; et un dispositif de chauffage pour chauffer le suscepteur, le dispositif de chauffage pouvant comprendre : une bobine qui est fixée à une position espacée d'une distance prédéterminée de la surface extérieure du suscepteur, est formée pour être enroulée le long de la surface extérieure du suscepteur pour générer un champ magnétique, et chauffe le suscepteur par induction électromagnétique en raison du champ magnétique ; et un blindage qui est formé pour entourer la surface extérieure de la bobine pour supporter la bobine et empêcher la bobine d'être exposée à l'espace intérieur du four de croissance.
잉곳 성장 장치가 개시된다. 본 발명의 일측면에 따른 히터를 포함하는 잉곳 성장 장치는, 용융된 실리콘을 수용하는 도가니; 상기 도가니가 설치되는 내부 공간을 갖는 성장로; 상기 도가니의 외측면을 감싸도록 상기 도가니의 외측면에 대응하는 형상으로 이루어진 내측면을 갖는 서셉터; 및 상기 서셉터를 가열하는 히터; 를 포함하고, 상기 히터는, 상기 서셉터의 외측면으로부터 소정 간격 이격된 위치에 고정되되 상기 서셉터의 외측면을 따라 감기도록 형성되어 자기장을 발생시키고, 상기 자기장에 의한 전자기 유도에 의해 상기 서셉터를 가열하는 코일; 및 상기 코일의 외측면을 감싸도록 형성되어 상기 코일을 지지하고, 상기 코일이 상기 성장로의 내부 공간에 노출되는 것을 차단하는 쉴드; 를 포함할 수 있다.
INGOT GROWING APPARATUS COMPRISING HEATER AND METHOD FOR MANUFACTURING HEATER FOR INGOT GROWING APPARATUS
An ingot growing apparatus is disclosed. An ingot growing apparatus comprising a heater according to an aspect of the present invention may comprise: a crucible for accommodating molten silicon; a growth furnace having an inner space in which the crucible is installed; a susceptor having an inner surface shaped to correspond to the outer surface of the crucible and surrounding the outer surface of the crucible; and a heater for heating the susceptor, wherein the heater may comprise: a coil which is fixed at a position spaced a predetermined distance apart from the outer surface of the susceptor, is formed to be wound along the outer surface of the susceptor to generate a magnetic field, and heats the susceptor by electromagnetic induction due to the magnetic field; and a shield which is formed to surround the outer surface of the coil to support the coil and blocks the coil from being exposed to the inner space of the growth furnace.
Un appareil de croissance de lingot est divulgué. Un appareil de croissance de lingot comprenant un dispositif de chauffage selon un aspect de la présente invention peut comprendre : un creuset pour recevoir du silicium fondu ; un four de croissance ayant un espace interne dans lequel le creuset est installé ; un suscepteur ayant une surface interne formée pour correspondre à la surface externe du creuset et entourant la surface externe du creuset ; et un dispositif de chauffage pour chauffer le suscepteur, le dispositif de chauffage pouvant comprendre : une bobine qui est fixée à une position espacée d'une distance prédéterminée de la surface extérieure du suscepteur, est formée pour être enroulée le long de la surface extérieure du suscepteur pour générer un champ magnétique, et chauffe le suscepteur par induction électromagnétique en raison du champ magnétique ; et un blindage qui est formé pour entourer la surface extérieure de la bobine pour supporter la bobine et empêcher la bobine d'être exposée à l'espace intérieur du four de croissance.
잉곳 성장 장치가 개시된다. 본 발명의 일측면에 따른 히터를 포함하는 잉곳 성장 장치는, 용융된 실리콘을 수용하는 도가니; 상기 도가니가 설치되는 내부 공간을 갖는 성장로; 상기 도가니의 외측면을 감싸도록 상기 도가니의 외측면에 대응하는 형상으로 이루어진 내측면을 갖는 서셉터; 및 상기 서셉터를 가열하는 히터; 를 포함하고, 상기 히터는, 상기 서셉터의 외측면으로부터 소정 간격 이격된 위치에 고정되되 상기 서셉터의 외측면을 따라 감기도록 형성되어 자기장을 발생시키고, 상기 자기장에 의한 전자기 유도에 의해 상기 서셉터를 가열하는 코일; 및 상기 코일의 외측면을 감싸도록 형성되어 상기 코일을 지지하고, 상기 코일이 상기 성장로의 내부 공간에 노출되는 것을 차단하는 쉴드; 를 포함할 수 있다.
INGOT GROWING APPARATUS COMPRISING HEATER AND METHOD FOR MANUFACTURING HEATER FOR INGOT GROWING APPARATUS
APPAREIL DE CROISSANCE DE LINGOT COMPRENANT UN DISPOSITIF DE CHAUFFAGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF DE CHAUFFAGE POUR APPAREIL DE CROISSANCE DE LINGOT
히터를 포함하는 잉곳 성장 장치 및 잉곳 성장 장치용 히터의 제조 방법
JEON HAN WOONG (author) / LEE KYUNG SEOK (author) / LEE YOUNG JUN (author)
2022-03-31
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C30B
SINGLE-CRYSTAL GROWTH
,
Züchten von Einkristallen
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
H05B
ELECTRIC HEATING
,
Elektrische Heizung
INGOT GROWING APPARATUS WITH HEATER AND METHOD FOR FABRICATING HEATER FOR THE SAME
| European Patent Office | 2021
| Engineering Index Backfile | 1948