A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
The present invention provides a ceramic substrate and a manufacturing method thereof. According to an embodiment of the present invention, the ceramic substrate includes aluminum and a nitride layer including an upper surface and a lower surface facing each other, From the inside of the nitride layer to the upper surface of the nitride layer, the nitrogen concentration decreases while the concentration of oxygen atoms, hydrogen atoms, and chlorine atoms increases.
세라믹 기판 및 이의 제조방법이 제공되고, 본 발명의 일 구현예에 따른 세라믹 기판은 알루미늄을 포함하고, 서로 마주보는 상부 표면(upper surface) 및 하부 표면(lower surface)을 갖는 질화물 층을 포함하고, 질화물 층의 내부에서 상부 표면에 가까워질수록 질소 농도가 낮아지고, 질화물 층 내부에서 상부 표면에 가까워질수록 산소원자, 수소원자, 또는 염소원자의 농도가 높아지는 것일 수 있다.
CERAMIC SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
The present invention provides a ceramic substrate and a manufacturing method thereof. According to an embodiment of the present invention, the ceramic substrate includes aluminum and a nitride layer including an upper surface and a lower surface facing each other, From the inside of the nitride layer to the upper surface of the nitride layer, the nitrogen concentration decreases while the concentration of oxygen atoms, hydrogen atoms, and chlorine atoms increases.
세라믹 기판 및 이의 제조방법이 제공되고, 본 발명의 일 구현예에 따른 세라믹 기판은 알루미늄을 포함하고, 서로 마주보는 상부 표면(upper surface) 및 하부 표면(lower surface)을 갖는 질화물 층을 포함하고, 질화물 층의 내부에서 상부 표면에 가까워질수록 질소 농도가 낮아지고, 질화물 층 내부에서 상부 표면에 가까워질수록 산소원자, 수소원자, 또는 염소원자의 농도가 높아지는 것일 수 있다.
CERAMIC SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
세라믹 기판 및 이의 제조방법
CHO HYUN MIN (author) / KIM MIN SUN (author)
2015-07-30
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Alumina ceramic substrate and manufacturing method thereof
| European Patent Office | 2024
CERAMIC METALIZING SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
| European Patent Office | 2019
CERAMIC SUBSTRATE, CERAMIC DIVIDED SUBSTRATE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC SUBSTRATE
| European Patent Office | 2023