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MULLITE SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND COMPOSITE SUBSTRATE
본 발명의 멀라이트 소결체는, 불순물 원소의 함유량이 1 질량% 이하인 멀라이트 소결체로서, 멀라이트 소결 입자의 평균 입자 직경이 8 ㎛ 이하이고, 연마 마무리한 표면에 존재하는 기공의 최대부 길이의 평균이 0.4 ㎛ 이하인 것이다. 상기 표면의 중심선 평균 거칠기(Ra)는 3 ㎚ 이하인 것이 바람직하다. 상기 표면의 최대 높이(Rp)는 30 ㎚ 이하인 것이 바람직하다. 상기 표면에 존재하는 기공수는, 4 ㎛×4 ㎛의 면적당, 10개 이하인 것이 바람직하다.
MULLITE SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND COMPOSITE SUBSTRATE
본 발명의 멀라이트 소결체는, 불순물 원소의 함유량이 1 질량% 이하인 멀라이트 소결체로서, 멀라이트 소결 입자의 평균 입자 직경이 8 ㎛ 이하이고, 연마 마무리한 표면에 존재하는 기공의 최대부 길이의 평균이 0.4 ㎛ 이하인 것이다. 상기 표면의 중심선 평균 거칠기(Ra)는 3 ㎚ 이하인 것이 바람직하다. 상기 표면의 최대 높이(Rp)는 30 ㎚ 이하인 것이 바람직하다. 상기 표면에 존재하는 기공수는, 4 ㎛×4 ㎛의 면적당, 10개 이하인 것이 바람직하다.
MULLITE SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND COMPOSITE SUBSTRATE
멀라이트 소결체, 그 제법 및 복합 기판
ISODA YOSHINORI (author) / SATO YOSUKE (author) / KATSUDA YUJI (author)
2016-03-23
Patent
Electronic Resource
Korean
MULLITE SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND COMPOSITE SUBSTRATE
European Patent Office | 2016
|MULLITE SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME AND COMPOSITE SUBSTRATE
European Patent Office | 2016
Mullite sintered body, method for producing the same, and composite substrate
European Patent Office | 2017
|MULLITE SINTERED COMPACT, METHOD FOR PRODUCING SAME, AND COMPOSITE SUBSTRATE
European Patent Office | 2015
|MULLITE-CONTAINING SINTERED BODY METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND COMPOSITE SUBSTRATE
European Patent Office | 2022