A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
OXIDE SINTER METHOD FOR PRODUCING SAME TARGET AND TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
본 발명은, 청색 LED나 태양전지에 적합한 투명 도전막의 고속 성막과 무노듈을 실현할 수 있는 스퍼터링용 타겟, 그것을 얻기 위한 최적의 산화물 소결물체와 그 제조 방법에 관한 것이다. 인듐과 세륨을 산화물로서 함유하고, 티타늄, 지르코늄, 하프늄, 몰리브덴 및 텅스텐으로 이루어진 금속 원소군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속 원소(M 원소)를 산화물로서 함유하고, 세륨의 함량이 Ce / (In + Ce + M) 원자수비로 0.3 내지 9 원자%, M 원소의 함량이 M / (In + Ce + M) 원자수비로 1 원자% 이하, 세륨과 M 원소의 총 함량이 (Ce + M) / (In + Ce + M) 원자수비로 9 원자% 이하인 산화물 소결물체이며, 상기 산화물 소결물체는, 빅스바이트형(bixbyite-type) 구조의 InO상이 주요 결정상(main crystal phase)을 형성하고, 제 2 상으로서 형석형 구조(fluorite type structure)의 CeO상이 평균 입경 3 ㎛ 이하의 결정립(crystal grain)으로서 미세하게 분산되어 있는 산화물 소결물체; 산화 인듐 분말과 산화 세륨 분말을 포함하는 원료 분말에 M 원소의 산화물 분말을 첨가하여 혼합하고, 상기 원료 분말의 평균 입경은 1.5 ㎛ 이하이며, 혼합 분말을 성형하고, 성형물을 상압 소결법에 따라 소결하거나, 또는 혼합 분말을 핫 프레스법에 따라 성형하여 소결하는 산화물 소결물체의 제조 방법에 관한 것이다.
OXIDE SINTER METHOD FOR PRODUCING SAME TARGET AND TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
본 발명은, 청색 LED나 태양전지에 적합한 투명 도전막의 고속 성막과 무노듈을 실현할 수 있는 스퍼터링용 타겟, 그것을 얻기 위한 최적의 산화물 소결물체와 그 제조 방법에 관한 것이다. 인듐과 세륨을 산화물로서 함유하고, 티타늄, 지르코늄, 하프늄, 몰리브덴 및 텅스텐으로 이루어진 금속 원소군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속 원소(M 원소)를 산화물로서 함유하고, 세륨의 함량이 Ce / (In + Ce + M) 원자수비로 0.3 내지 9 원자%, M 원소의 함량이 M / (In + Ce + M) 원자수비로 1 원자% 이하, 세륨과 M 원소의 총 함량이 (Ce + M) / (In + Ce + M) 원자수비로 9 원자% 이하인 산화물 소결물체이며, 상기 산화물 소결물체는, 빅스바이트형(bixbyite-type) 구조의 InO상이 주요 결정상(main crystal phase)을 형성하고, 제 2 상으로서 형석형 구조(fluorite type structure)의 CeO상이 평균 입경 3 ㎛ 이하의 결정립(crystal grain)으로서 미세하게 분산되어 있는 산화물 소결물체; 산화 인듐 분말과 산화 세륨 분말을 포함하는 원료 분말에 M 원소의 산화물 분말을 첨가하여 혼합하고, 상기 원료 분말의 평균 입경은 1.5 ㎛ 이하이며, 혼합 분말을 성형하고, 성형물을 상압 소결법에 따라 소결하거나, 또는 혼합 분말을 핫 프레스법에 따라 성형하여 소결하는 산화물 소결물체의 제조 방법에 관한 것이다.
OXIDE SINTER METHOD FOR PRODUCING SAME TARGET AND TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
산화물 소결물체와 그 제조 방법, 타겟 및 투명 도전막
NAKAYAMA TOKUYUKI (author) / ABE YOSHIYUKI (author)
2016-10-26
Patent
Electronic Resource
Korean
OXIDE SINTER METHOD FOR PRODUCING SAME TARGET AND TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
European Patent Office | 2017
OXIDE SINTER METHOD FOR PRODUCING SAME TARGET AND TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
European Patent Office | 2017
European Patent Office | 2016
European Patent Office | 2019
| European Patent Office | 2019