A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Repair apparatus of AlN heater and method thereof
The present invention relates to a repair device for an aluminum nitride heater and a method thereof in which, after liquid application of a fusion bonding paste to a cracked portion of a plate, an atmosphere for vacuum suction and fusion bonding is formed and then the fusion bonding paste is reacted with a base material to perform fusion bonding. Accordingly, disclosed is the repair device for an aluminum nitride heater which comprises: a heater support unit supporting a lower portion of a plate of an aluminum nitride heater; a mount connection unit connected to a mount unit of the aluminum nitride heater; a vacuum pump pipe having one side connected to the mount connection unit; and a vacuum pump unit connected to the vacuum pump pipe and allowing the fusion bonding paste injected into a cracked portion of the plate to penetrate into the cracked portion by vacuum pumping. Therefore, durability and uniform temperature can be provided in use.
본 발명은 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 플레이트의 크랙 부위에 용융접합 페이스트를 액상 도포한 후에 진공 흡입과 용융접합 분위기를 형성하여 용융접합 페이스트를 모재와 반응시켜 용융접합하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 이를 위해 질화알루미늄 히터의 플레이트 하부를 지지하는 히터 지지부, 질화알루미늄 히터의 마운트부와 연결 접속되는 마운트 접속부, 일측이 마운트 접속부와 연결 접속되는 진공 펌프관, 진공 펌프관과 연결 접속되며, 진공 펌핑에 의해 플레이트의 크랙 부위에 주입된 용융접합 페이스트가 크랙 부위로 침투되도록 하는 진공 펌프부를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치가 개시된다.
Repair apparatus of AlN heater and method thereof
The present invention relates to a repair device for an aluminum nitride heater and a method thereof in which, after liquid application of a fusion bonding paste to a cracked portion of a plate, an atmosphere for vacuum suction and fusion bonding is formed and then the fusion bonding paste is reacted with a base material to perform fusion bonding. Accordingly, disclosed is the repair device for an aluminum nitride heater which comprises: a heater support unit supporting a lower portion of a plate of an aluminum nitride heater; a mount connection unit connected to a mount unit of the aluminum nitride heater; a vacuum pump pipe having one side connected to the mount connection unit; and a vacuum pump unit connected to the vacuum pump pipe and allowing the fusion bonding paste injected into a cracked portion of the plate to penetrate into the cracked portion by vacuum pumping. Therefore, durability and uniform temperature can be provided in use.
본 발명은 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 플레이트의 크랙 부위에 용융접합 페이스트를 액상 도포한 후에 진공 흡입과 용융접합 분위기를 형성하여 용융접합 페이스트를 모재와 반응시켜 용융접합하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 이를 위해 질화알루미늄 히터의 플레이트 하부를 지지하는 히터 지지부, 질화알루미늄 히터의 마운트부와 연결 접속되는 마운트 접속부, 일측이 마운트 접속부와 연결 접속되는 진공 펌프관, 진공 펌프관과 연결 접속되며, 진공 펌핑에 의해 플레이트의 크랙 부위에 주입된 용융접합 페이스트가 크랙 부위로 침투되도록 하는 진공 펌프부를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치가 개시된다.
Repair apparatus of AlN heater and method thereof
진공펌프를 통한 질화알루미늄 히터 리페어
PARK HO JUNE (author) / JEON SEONG HYEON (author)
2022-09-01
Patent
Electronic Resource
Korean
| European Patent Office | 2022