A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Repair apparatus of AlN heater and method thereof
The present invention relates to a repair device and method for an aluminum nitride heater. The present invention relates to a repair device and method for an aluminum nitride heater, which are for repairing a cracked plate by removing a crack via processing, applying paste, and then bonding the paste to a new plate by sintering. To this end, disclosed is a repair device for an aluminum nitride heater, the repair device including: a press unit for applying pressure to a repair plate unit to which paste is applied; a plurality of step adjustment units disposed in a space between the press unit and the repair plate unit to match a height difference and apply a load to the repair plate unit; and a borium nitride jig unit that transmits paste bonding pressure to the repair plate unit according to the pressure of the press unit.
본 발명은 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 크랙이 발생한 플레이트를 가공으로 제거한 후에 페이스트를 도포하여 신품 플레이트와 페이스트 소결 접합함으로써 리페어하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 이를 위해 페이스트가 도포된 리페어 플레이트부에 압력을 가하는 프레스부, 프레스부와 리페어 플레이트부의 사이 공간에 배치되어 높이 차를 맞추고, 리페어 플레이트부에 하중을 가하는 복수의 단차 조절부, 프레스부의 압력에 따라 리페어 플레이트부에 페이스트 접합 압력이 전달되도록 하는 보륨나이트라이드 지그부를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치가 개시된다.
Repair apparatus of AlN heater and method thereof
The present invention relates to a repair device and method for an aluminum nitride heater. The present invention relates to a repair device and method for an aluminum nitride heater, which are for repairing a cracked plate by removing a crack via processing, applying paste, and then bonding the paste to a new plate by sintering. To this end, disclosed is a repair device for an aluminum nitride heater, the repair device including: a press unit for applying pressure to a repair plate unit to which paste is applied; a plurality of step adjustment units disposed in a space between the press unit and the repair plate unit to match a height difference and apply a load to the repair plate unit; and a borium nitride jig unit that transmits paste bonding pressure to the repair plate unit according to the pressure of the press unit.
본 발명은 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 크랙이 발생한 플레이트를 가공으로 제거한 후에 페이스트를 도포하여 신품 플레이트와 페이스트 소결 접합함으로써 리페어하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 이를 위해 페이스트가 도포된 리페어 플레이트부에 압력을 가하는 프레스부, 프레스부와 리페어 플레이트부의 사이 공간에 배치되어 높이 차를 맞추고, 리페어 플레이트부에 하중을 가하는 복수의 단차 조절부, 프레스부의 압력에 따라 리페어 플레이트부에 페이스트 접합 압력이 전달되도록 하는 보륨나이트라이드 지그부를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치가 개시된다.
Repair apparatus of AlN heater and method thereof
지그를 통한 질화알루미늄 히터 리페어
PARK HO JUNE (author) / JEON SEONG HYEON (author)
2022-09-01
Patent
Electronic Resource
Korean
| European Patent Office | 2022