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Method for Manufacturing Ceramic Susceptor
The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic susceptor to perform chucking and dechucking stably without temperature dependence and change in electrostatic power. According to the present invention, the method comprises: a step of manufacturing a ceramic sheet; a step of manufacturing a molded body with a laminated structure in which the ceramic sheets are stacked and a conductive metal material for electrodes is disposed therebetween; and a step of sintering the molded body of the laminated structure. The step of manufacturing the ceramic sheet includes: a step of heat-treating a slurry containing MgO, SiO_2, and CaO to acquire an amorphous first additive powder; a step of mixing the first additive powder, a second additive powder containing MgO powder, and a third additive powder containing Y_2O_3 powder with Al_2O_3 powder to prepare a slurry; and a step of tape-casting the slurry to form the ceramic sheet.
본 발명은 세라믹 서셉터의 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 세라믹 서셉터의 제조 방법은, 세라믹 시트를 제조하는 단계, 상기 세라믹 시트를 적층하되, 전극용 전도성 금속 재질이 그 사이에 배치되는 적층 구조의 성형체를 제조하는 단계, 및 상기 적층 구조의 성형체를 소결하는 단계를 포함하고, 상기 세라믹 시트를 제조하는 단계는, MgO, SiO2, CaO를 포함하는 슬러리를 열처리하여 비정질화된 제1 첨가제 분말을 획득하는 단계, Al2O3 분말에 상기 제1 첨가제 분말, MgO 분말을 포함하는 제2 첨가제 분말, Y2O3 분말을 포함하는 제3 첨가제 분말을 혼합하여 슬러리를 제조하는 단계, 및 상기 슬러리를 테이프 캐스팅하여 세라믹 시트를 형성하는 단계를 포함한다.
Method for Manufacturing Ceramic Susceptor
The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic susceptor to perform chucking and dechucking stably without temperature dependence and change in electrostatic power. According to the present invention, the method comprises: a step of manufacturing a ceramic sheet; a step of manufacturing a molded body with a laminated structure in which the ceramic sheets are stacked and a conductive metal material for electrodes is disposed therebetween; and a step of sintering the molded body of the laminated structure. The step of manufacturing the ceramic sheet includes: a step of heat-treating a slurry containing MgO, SiO_2, and CaO to acquire an amorphous first additive powder; a step of mixing the first additive powder, a second additive powder containing MgO powder, and a third additive powder containing Y_2O_3 powder with Al_2O_3 powder to prepare a slurry; and a step of tape-casting the slurry to form the ceramic sheet.
본 발명은 세라믹 서셉터의 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 세라믹 서셉터의 제조 방법은, 세라믹 시트를 제조하는 단계, 상기 세라믹 시트를 적층하되, 전극용 전도성 금속 재질이 그 사이에 배치되는 적층 구조의 성형체를 제조하는 단계, 및 상기 적층 구조의 성형체를 소결하는 단계를 포함하고, 상기 세라믹 시트를 제조하는 단계는, MgO, SiO2, CaO를 포함하는 슬러리를 열처리하여 비정질화된 제1 첨가제 분말을 획득하는 단계, Al2O3 분말에 상기 제1 첨가제 분말, MgO 분말을 포함하는 제2 첨가제 분말, Y2O3 분말을 포함하는 제3 첨가제 분말을 혼합하여 슬러리를 제조하는 단계, 및 상기 슬러리를 테이프 캐스팅하여 세라믹 시트를 형성하는 단계를 포함한다.
Method for Manufacturing Ceramic Susceptor
세라믹 서셉터의 제조 방법
LEE HYEON JUN (author) / YOO CHANG MIN (author)
2023-06-30
Patent
Electronic Resource
Korean