A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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Method for manufacturing plasma-resistant ceramic heater plasma-resistant ceramic heater manufactured therefrom and semiconductor holding device comprising the same
Provided is a method for manufacturing a plasma-resistant ceramic heater plate. The method for manufacturing a plasma-resistant ceramic heater plate according to one embodiment of the present invention comprises the steps of: (1) manufacturing a laminate including ceramic layers containing silicon as a main material; (2) manufacturing a ceramic molded body having a ceramic layer containing yttrium oxide disposed as a main material on one surface of the laminate in a thickness direction; and (3) nitriding and sintering the ceramic molded body. Accordingly, it is possible to manufacture a ceramic heater plate having plasma resistance and high mechanical strength at high temperatures, abrasion resistance, and corrosion resistance, and which yet has a satisfactorily outer appearance without distortion of the sintered body or delamination between layers, and a manufacturing time and man-hours can be reduced, thereby being suitable for mass-producing the ceramic heater plate.
내플라즈마성 세라믹 히터 플레이트 제조방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 내플라즈마성 세라믹 히터 플레이트는 (1) 주제로 실리콘을 함유하는 세라믹층들을 포함하는 적층체를 제조하는 단계, (2) 상기 적층체의 두께 방향 일면 상에 주제로 산화이트륨을 함유하는 세라믹층이 배치된 세라믹 성형체를 제조하는 단계 및 (3) 상기 세라믹 성형체를 질화 및 소결시키는 단계를 포함한다. 이에 의하면, 내플라즈마 특성과 함께 고온에서의 높은 기계적 강도, 내마모, 내부식 특성을 동시에 가지면서도 소결체가 뒤틀리거나 층간에 박리되는 것 없이 양호하게 외관이 형성된 세라믹 히터 플레이트를 제조할 수 있고, 제조시간 및 공수를 감소시킬 수 있어서 세라믹 히터 플레이트를 대량생산하는데 적합할 수 있다.
Method for manufacturing plasma-resistant ceramic heater plasma-resistant ceramic heater manufactured therefrom and semiconductor holding device comprising the same
Provided is a method for manufacturing a plasma-resistant ceramic heater plate. The method for manufacturing a plasma-resistant ceramic heater plate according to one embodiment of the present invention comprises the steps of: (1) manufacturing a laminate including ceramic layers containing silicon as a main material; (2) manufacturing a ceramic molded body having a ceramic layer containing yttrium oxide disposed as a main material on one surface of the laminate in a thickness direction; and (3) nitriding and sintering the ceramic molded body. Accordingly, it is possible to manufacture a ceramic heater plate having plasma resistance and high mechanical strength at high temperatures, abrasion resistance, and corrosion resistance, and which yet has a satisfactorily outer appearance without distortion of the sintered body or delamination between layers, and a manufacturing time and man-hours can be reduced, thereby being suitable for mass-producing the ceramic heater plate.
내플라즈마성 세라믹 히터 플레이트 제조방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의한 내플라즈마성 세라믹 히터 플레이트는 (1) 주제로 실리콘을 함유하는 세라믹층들을 포함하는 적층체를 제조하는 단계, (2) 상기 적층체의 두께 방향 일면 상에 주제로 산화이트륨을 함유하는 세라믹층이 배치된 세라믹 성형체를 제조하는 단계 및 (3) 상기 세라믹 성형체를 질화 및 소결시키는 단계를 포함한다. 이에 의하면, 내플라즈마 특성과 함께 고온에서의 높은 기계적 강도, 내마모, 내부식 특성을 동시에 가지면서도 소결체가 뒤틀리거나 층간에 박리되는 것 없이 양호하게 외관이 형성된 세라믹 히터 플레이트를 제조할 수 있고, 제조시간 및 공수를 감소시킬 수 있어서 세라믹 히터 플레이트를 대량생산하는데 적합할 수 있다.
Method for manufacturing plasma-resistant ceramic heater plasma-resistant ceramic heater manufactured therefrom and semiconductor holding device comprising the same
내플라즈마성 세라믹 히터 플레이트 제조방법, 이를 통해 제조된 내플라즈마성 세라믹 히터 플레이트 및 이를 포함하는 반도체 유지장치
CHEONG HUN (author) / WOO KYUNG WHAN (author) / OH CHANG WOO (author)
2023-08-25
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
H05B
ELECTRIC HEATING
,
Elektrische Heizung
| European Patent Office | 2023
DEVICE FOR MANUFACTURING CERAMIC HEATER, AND METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC HEATER
| European Patent Office | 2015
Ceramic heater for semiconductor manufacturing equipment
| European Patent Office | 2024
CERAMIC HEATER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
| European Patent Office | 2024
CERAMIC HEATER FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
| European Patent Office | 2024