A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CORROSION-RESISTANT COMPONENTS AND METHODS OF MAKING
A corrosion-resistant component (100) configured for use with a semiconductor processing reactor, the corrosion-resistant component comprising: a) a ceramic insulating substrate(110); and, b) a corrosion-resistant non-porous layer (120) associated with the ceramic insulating substrate, the corrosion-resistant non-porous layer having a composition comprising at least 15% by weight of a rare earth compound based on total weight of the corrosion-resistant non-porous layer; and, the corrosion-resistant non-porous layer characterized by a microstructure substantially devoid of microcracks and fissures, and having an average grain size of at least about 100 nm and at most about 100 μm. Assemblies including corrosion-resistant components and methods of making are also disclosed.
L'invention concerne un composant résistant à la corrosion (100) configuré pour être utilisé avec un réacteur de traitement de semi-conducteurs, lequel composant résistant à la corrosion comprend : a) un substrat isolant en céramique (110); et, b) une couche non poreuse résistant à la corrosion (120) associée au substrat isolant en céramique, la couche non poreuse ayant une composition comprenant au moins 15 % en poids d'un composé des terres rares sur la base du poids total de la couche non poreuse résistant à la corrosion; et la couche non poreuse résistant à la corrosion étant caractérisée par une microstructure sensiblement exempte de microfissures et de fissures, et ayant une taille de grains moyenne d'au moins environ 100 nm et d'au plus environ 100 μm. L'invention concerne également des ensembles comprenant des composants résistant à la corrosion et leurs procédés de fabrication.
CORROSION-RESISTANT COMPONENTS AND METHODS OF MAKING
A corrosion-resistant component (100) configured for use with a semiconductor processing reactor, the corrosion-resistant component comprising: a) a ceramic insulating substrate(110); and, b) a corrosion-resistant non-porous layer (120) associated with the ceramic insulating substrate, the corrosion-resistant non-porous layer having a composition comprising at least 15% by weight of a rare earth compound based on total weight of the corrosion-resistant non-porous layer; and, the corrosion-resistant non-porous layer characterized by a microstructure substantially devoid of microcracks and fissures, and having an average grain size of at least about 100 nm and at most about 100 μm. Assemblies including corrosion-resistant components and methods of making are also disclosed.
L'invention concerne un composant résistant à la corrosion (100) configuré pour être utilisé avec un réacteur de traitement de semi-conducteurs, lequel composant résistant à la corrosion comprend : a) un substrat isolant en céramique (110); et, b) une couche non poreuse résistant à la corrosion (120) associée au substrat isolant en céramique, la couche non poreuse ayant une composition comprenant au moins 15 % en poids d'un composé des terres rares sur la base du poids total de la couche non poreuse résistant à la corrosion; et la couche non poreuse résistant à la corrosion étant caractérisée par une microstructure sensiblement exempte de microfissures et de fissures, et ayant une taille de grains moyenne d'au moins environ 100 nm et d'au plus environ 100 μm. L'invention concerne également des ensembles comprenant des composants résistant à la corrosion et leurs procédés de fabrication.
CORROSION-RESISTANT COMPONENTS AND METHODS OF MAKING
COMPOSANTS RÉSISTANT À LA CORROSION ET PROCÉDÉS DE RÉALISATION
SIMPSON MATTHEW (author) / DIVAKAR RAMESH (author) / FILER ALAN (author)
2017-05-26
Patent
Electronic Resource
English
IPC:
B32B
LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
,
Schichtkörper, d.h. aus Ebenen oder gewölbten Schichten, z.B. mit zell- oder wabenförmiger Form, aufgebaute Erzeugnisse
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
H01J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
,
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES