A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CORROSION-RESISTANT COMPONENTS AND METHODS OF MAKING
A corrosion-resistant component configured for use with a semiconductor processing reactor, the corrosion-resistant component comprising: a) a ceramic insulating substrate; and, b) a white corrosion-resistant non-porous outer layer associated with the ceramic insulating substrate, the white corrosion-resistant non-porous outer layer having a thickness of at least 50 μm, a porosity of at most 1%, and a composition comprising at least 15% by weight of a rare earth compound based on total weight of the corrosion-resistant non-porous layer; and, c) an L* value of at least 90 as measured on a planar surface of the white corrosion-resistant non-porous outer layer. Methods of making are also disclosed.
L'invention concerne un composant résistant à la corrosion conçu pour être utilisé avec un réacteur de traitement de semi-conducteur, le composant résistant à la corrosion comprenant : a) un substrat isolant en céramique ; et, b) une couche externe non poreuse résistante à la corrosion blanche associée au substrat isolant en céramique, la couche externe non poreuse résistante à la corrosion blanche ayant une épaisseur d'au moins 50 µm, une porosité d'au plus 1 %, et une composition comprenant au moins 15 % en poids d'un composé de terre rare par rapport au poids total de la couche non poreuse résistante à la corrosion ; et, c) une valeur L* d'au moins 90 telle que mesurée sur une surface plane de la couche externe non poreuse résistante à la corrosion blanche. L'invention porte également sur des procédés de fabrication.
CORROSION-RESISTANT COMPONENTS AND METHODS OF MAKING
A corrosion-resistant component configured for use with a semiconductor processing reactor, the corrosion-resistant component comprising: a) a ceramic insulating substrate; and, b) a white corrosion-resistant non-porous outer layer associated with the ceramic insulating substrate, the white corrosion-resistant non-porous outer layer having a thickness of at least 50 μm, a porosity of at most 1%, and a composition comprising at least 15% by weight of a rare earth compound based on total weight of the corrosion-resistant non-porous layer; and, c) an L* value of at least 90 as measured on a planar surface of the white corrosion-resistant non-porous outer layer. Methods of making are also disclosed.
L'invention concerne un composant résistant à la corrosion conçu pour être utilisé avec un réacteur de traitement de semi-conducteur, le composant résistant à la corrosion comprenant : a) un substrat isolant en céramique ; et, b) une couche externe non poreuse résistante à la corrosion blanche associée au substrat isolant en céramique, la couche externe non poreuse résistante à la corrosion blanche ayant une épaisseur d'au moins 50 µm, une porosité d'au plus 1 %, et une composition comprenant au moins 15 % en poids d'un composé de terre rare par rapport au poids total de la couche non poreuse résistante à la corrosion ; et, c) une valeur L* d'au moins 90 telle que mesurée sur une surface plane de la couche externe non poreuse résistante à la corrosion blanche. L'invention porte également sur des procédés de fabrication.
CORROSION-RESISTANT COMPONENTS AND METHODS OF MAKING
COMPOSANTS RÉSISTANTS À LA CORROSION ET PROCÉDÉS DE FABRICATION
SIMPSON MATTHEW (author) / DIVAKAR RAMESH (author) / FILER ALAN (author)
2018-05-24
Patent
Electronic Resource
English
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B32B
LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
,
Schichtkörper, d.h. aus Ebenen oder gewölbten Schichten, z.B. mit zell- oder wabenförmiger Form, aufgebaute Erzeugnisse
/
H01J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
,
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS