A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TRÄGERPLATTE UND TRÄGERPLATTE
Die Erfindung betrifft eine Trägerplatte (13) sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Trägerplatte, insbesondere zur Aufnahme und Handhabung von Halbleitererzeugnissen, Wafer oder dergleichen, wobei aus Kohlenstofffasern ausgebildete Fasergewebelagen zu einem Stapel angeordnet werden, wobei die Fasergewebelagen mit einem Harz imprägniert werden, wobei das Harz ausgehärtet und pyrolysiert wird, wobei nachfolgend der Stapel grafitiert wird, wobei eine erste Fasergewebelage des Stapels aus einem ersten Fasergewebe mit Filamentgarnen gleich oder größer 12 K und eine zweite Fasergewebelage des Stapels aus einem zweiten Fasergewebe mit Filamentgarnen gleich oder kleiner 6 K ausgebildet wird.
The invention relates to a carrier base (13) and a method for manufacturing a carrier base, more particularly for the lifting and handling of semiconductor products, wafers or similar, wherein woven fibre layers formed from carbon fibre are arranged to form a stack, wherein the woven fibre layers are impregnated with a resin and the resin is cured and pyrolysed, the stack is then graphitised, wherein a first woven fibre layer of the stack is formed from a first woven fibre comprising filament yarns equal to or thicker than 12 K and a second woven fibre layer of the stack is formed from a second woven fibre comprising filament yarns equal to or finer than 6 K.
L'invention concerne une plaque de support (13) et un procédé de production d'une plaque de support servant en particulier à la réception et à la manipulation de produits semi-conducteurs, plaquettes ou analogue, des couches de tissu fibreux constituées de fibres de carbone étant agencées de manière à former une pile, ces couches de tissu fibreux étant imprégnées d'une résine, cette résine étant durcie et pyrolysée, la pile de couches étant ensuite soumise à une graphitisation, une première couche de tissu fibreux de la pile étant constituée d'un premier tissu fibreux comportant des fils continus dont le nombre de fibres individuelles est supérieur ou égal à 12 K et une deuxième couche de tissu fibreux de la pile étant constituée d'un deuxième tissu fibreux comportant des fils continus dont le nombre de fibres individuelles est inférieur ou égal à 6 K.
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TRÄGERPLATTE UND TRÄGERPLATTE
Die Erfindung betrifft eine Trägerplatte (13) sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Trägerplatte, insbesondere zur Aufnahme und Handhabung von Halbleitererzeugnissen, Wafer oder dergleichen, wobei aus Kohlenstofffasern ausgebildete Fasergewebelagen zu einem Stapel angeordnet werden, wobei die Fasergewebelagen mit einem Harz imprägniert werden, wobei das Harz ausgehärtet und pyrolysiert wird, wobei nachfolgend der Stapel grafitiert wird, wobei eine erste Fasergewebelage des Stapels aus einem ersten Fasergewebe mit Filamentgarnen gleich oder größer 12 K und eine zweite Fasergewebelage des Stapels aus einem zweiten Fasergewebe mit Filamentgarnen gleich oder kleiner 6 K ausgebildet wird.
The invention relates to a carrier base (13) and a method for manufacturing a carrier base, more particularly for the lifting and handling of semiconductor products, wafers or similar, wherein woven fibre layers formed from carbon fibre are arranged to form a stack, wherein the woven fibre layers are impregnated with a resin and the resin is cured and pyrolysed, the stack is then graphitised, wherein a first woven fibre layer of the stack is formed from a first woven fibre comprising filament yarns equal to or thicker than 12 K and a second woven fibre layer of the stack is formed from a second woven fibre comprising filament yarns equal to or finer than 6 K.
L'invention concerne une plaque de support (13) et un procédé de production d'une plaque de support servant en particulier à la réception et à la manipulation de produits semi-conducteurs, plaquettes ou analogue, des couches de tissu fibreux constituées de fibres de carbone étant agencées de manière à former une pile, ces couches de tissu fibreux étant imprégnées d'une résine, cette résine étant durcie et pyrolysée, la pile de couches étant ensuite soumise à une graphitisation, une première couche de tissu fibreux de la pile étant constituée d'un premier tissu fibreux comportant des fils continus dont le nombre de fibres individuelles est supérieur ou égal à 12 K et une deuxième couche de tissu fibreux de la pile étant constituée d'un deuxième tissu fibreux comportant des fils continus dont le nombre de fibres individuelles est inférieur ou égal à 6 K.
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TRÄGERPLATTE UND TRÄGERPLATTE
METHOD FOR MANUFACTURING A CARRIER BASE AND CARRIER BASE
PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE PLAQUE DE SUPPORT ET PLAQUE DE SUPPORT
VOLLMER ANDREAS (author) / SCHNEIDER MARTIN (author)
2017-12-07
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
B32B
LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
,
Schichtkörper, d.h. aus Ebenen oder gewölbten Schichten, z.B. mit zell- oder wabenförmiger Form, aufgebaute Erzeugnisse
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TRÄGERPLATTE UND TRÄGERPLATTE
| European Patent Office | 2023
Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer orthotropen Trägerplatte und orthotrope Trägerplatte
| European Patent Office | 2019
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MIT EINEM DEKOR AUSGERÜSTETEN TRÄGERPLATTE
| European Patent Office | 2018
| European Patent Office | 2016