A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
ALUMINA SINTERED BODY AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
The present invention relates to an alumina sintered body and a manufacturing method therefor; for example, the present invention relates to an alumina sintered body that is suitably utilized for a member or similar used in a plasma processing device, an etcher for semiconductor/liquid crystal display device manufacturing, a CVD device, or similar, or that is suitably utilized for a substrate or similar of a plasma-resistant member which is to be coated, as well as a manufacturing method for said alumina sintered body.
La présente invention concerne un corps en alumine frittée et son procédé de fabrication ; par exemple, la présente invention concerne un corps en alumine frittée qui est utilisé de manière appropriée pour un élément ou similaire utilisé dans un dispositif de traitement au plasma, un dispositif de gravure pour la fabrication de dispositif d'affichage à cristaux liquides/semi-conducteurs, un dispositif CVD, ou équivalents, ou qui est utilisé de manière appropriée pour un substrat ou équivalents d'un élément résistant au plasma qui doit être revêtu. La présente invention concerne en outre un procédé de fabrication dudit corps en alumine frittée.
本発明はアルミナ質焼結体及びその製造方法に関し、例えば、プラズマ処理装置、半導体・液晶表示装置製造用エッチャー、ＣＶＤ装置等に使用される部材等に好適に用いられる、あるいはまたコーティングされる耐プラズマ性部材の基材等に好適に用いられるアルミナ質焼結体、及び前記アルミナ質焼結体の製造方法に関する。
ALUMINA SINTERED BODY AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
The present invention relates to an alumina sintered body and a manufacturing method therefor; for example, the present invention relates to an alumina sintered body that is suitably utilized for a member or similar used in a plasma processing device, an etcher for semiconductor/liquid crystal display device manufacturing, a CVD device, or similar, or that is suitably utilized for a substrate or similar of a plasma-resistant member which is to be coated, as well as a manufacturing method for said alumina sintered body.
La présente invention concerne un corps en alumine frittée et son procédé de fabrication ; par exemple, la présente invention concerne un corps en alumine frittée qui est utilisé de manière appropriée pour un élément ou similaire utilisé dans un dispositif de traitement au plasma, un dispositif de gravure pour la fabrication de dispositif d'affichage à cristaux liquides/semi-conducteurs, un dispositif CVD, ou équivalents, ou qui est utilisé de manière appropriée pour un substrat ou équivalents d'un élément résistant au plasma qui doit être revêtu. La présente invention concerne en outre un procédé de fabrication dudit corps en alumine frittée.
本発明はアルミナ質焼結体及びその製造方法に関し、例えば、プラズマ処理装置、半導体・液晶表示装置製造用エッチャー、ＣＶＤ装置等に使用される部材等に好適に用いられる、あるいはまたコーティングされる耐プラズマ性部材の基材等に好適に用いられるアルミナ質焼結体、及び前記アルミナ質焼結体の製造方法に関する。
ALUMINA SINTERED BODY AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
CORPS EN ALUMINE FRITTÉE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
アルミナ質焼結体及びその製造方法
YOSHIDA SAYUKI (author) / MIYASHITA YUKIHISA (author)
2019-04-11
Patent
Electronic Resource
Japanese
METHOD FOR MANUFACTURING ALUMINA SINTERED BODY AND ALUMINA SINTERED BODY
| European Patent Office | 2016
METHOD FOR MANUFACTURING ALUMINA SINTERED BODY AND ALUMINA SINTERED BODY
European Patent Office | 2019
Method for manufacturing alumina sintered body and alumina sintered body
| European Patent Office | 2017