A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
ZINC STANNATE SPUTTER TARGET PRODUCTION METHODOLOGY
A system and method for producing a sputter target by thermally spraying Zinc Stannate in the meta-stable form in a plasma stream to coat the sputter target. The subject technology employs various methods of pre-treatment of Zinc Stannate in the meta-stable form prior to thermal spraying, in order to favorably affect particle size, shape, and partial conversion of the meta-stable form to the stable form.
L'invention concerne un système et un procédé de production d'une cible de pulvérisation cathodique par pulvérisation thermique de stannate de zinc sous forme métastable dans un flux de plasma pour revêtir la cible de pulvérisation. La technologie de l'invention utilise divers procédés de prétraitement de stannate de zinc sous une forme métastable avant la pulvérisation thermique, afin d'affecter favorablement la taille, la forme et la conversion partielle de la forme métastable en forme stable.
ZINC STANNATE SPUTTER TARGET PRODUCTION METHODOLOGY
A system and method for producing a sputter target by thermally spraying Zinc Stannate in the meta-stable form in a plasma stream to coat the sputter target. The subject technology employs various methods of pre-treatment of Zinc Stannate in the meta-stable form prior to thermal spraying, in order to favorably affect particle size, shape, and partial conversion of the meta-stable form to the stable form.
L'invention concerne un système et un procédé de production d'une cible de pulvérisation cathodique par pulvérisation thermique de stannate de zinc sous forme métastable dans un flux de plasma pour revêtir la cible de pulvérisation. La technologie de l'invention utilise divers procédés de prétraitement de stannate de zinc sous une forme métastable avant la pulvérisation thermique, afin d'affecter favorablement la taille, la forme et la conversion partielle de la forme métastable en forme stable.
ZINC STANNATE SPUTTER TARGET PRODUCTION METHODOLOGY
PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE EN STANNATE DE ZINC
SLAGEL DAVID (author) / BRUCE JR THOMAS J (author)
2019-04-25
Patent
Electronic Resource
English
Zinc stannate by reactive laser sintering
| British Library Online Contents | 2018
Zinc stannate by reactive laser sintering
| British Library Online Contents | 2018
Zinc stannate by reactive laser sintering
| British Library Online Contents | 2018
Photoacoustic and Optical Properties of Zinc-Stannate Thin Films
| British Library Online Contents | 2006