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FIRING SETTER AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
Provided are a firing setter and a manufacturing method for the firing setter that can prevent the occurrence of product defects due to a firing setter reacting with or scratching an object being fired. According to the present invention, the firing setter is produced by forming a thermally sprayed coating film (2) on a surface (1) whereon an object to be fired is to be placed, the thermally sprayed coating film (2) comprising a matrix material (3) made of molybdenum (Mo) or tungsten (W) in which pore-forming particles are dispersed, and the object to be fired having a substrate made of molybdenum (Mo) or tungsten (W). The pore-forming particles are made of hexagonal boron nitride (h-BN), vanadium nitride (VN), vanadium carbide (VC), or polyester and are contained so as to have an area ratio of 7.5-35% relative to the thermally sprayed coating film (2).
La présente invention concerne un support de cuisson et un procédé de fabrication de ce support de cuisson qui permettent d'éviter l'apparition de défauts dans un produit en raison de la réaction du support de cuisson avec un objet en cours de cuisson ou du fait de rayures formées sur un objet en cours de cuisson par le support de cuisson. Selon la présente invention, le support de cuisson est produit par la formation d'un film de revêtement appliqué par pulvérisation thermique (2) sur une surface (1) sur laquelle doit être placé un objet à cuire, le film de revêtement appliqué par pulvérisation thermique (2) comprenant un matériau de matrice (3) en molybdène (Mo) ou en tungstène (W) dans lequel sont dispersées des particules formant des pores, et l'objet à cuire ayant un substrat en molybdène (Mo) ou en tungstène (W). Les particules formant des pores sont constituées de nitrure de bore hexagonal (h-BN), de nitrure de vanadium (VN), de carbure de vanadium (VC) ou de polyester et sont contenues de manière à avoir un rapport de surface de 7,5 à 35% par rapport au film de revêtement appliqué par pulvérisation thermique (2).
被焼成物と反応を生じたり当該被焼成物にキズを与えたりすることによる不良品の発生を防止することができる焼成用セッターおよびその製造方法を提供する。本発明によれば、モリブデン(Mo)またはタングステン(W)からなる基材(1)の被焼成物が載置される表面に、モリブデン(Mo)またはタングステン(W)からなるマトリックス材(3)中に気孔生成粒子が分散された溶射皮膜(2)が形成されてなり、かつ上記気孔生成粒子は、六方晶窒化ホウ素(h-BN)、窒化バナジウム(VN)、炭化バナジウム(VC)またはポリエステルであるとともに、当該溶射皮膜(2)における気孔生成物面積率が7.5~35%の範囲になるように配合されている。
FIRING SETTER AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
Provided are a firing setter and a manufacturing method for the firing setter that can prevent the occurrence of product defects due to a firing setter reacting with or scratching an object being fired. According to the present invention, the firing setter is produced by forming a thermally sprayed coating film (2) on a surface (1) whereon an object to be fired is to be placed, the thermally sprayed coating film (2) comprising a matrix material (3) made of molybdenum (Mo) or tungsten (W) in which pore-forming particles are dispersed, and the object to be fired having a substrate made of molybdenum (Mo) or tungsten (W). The pore-forming particles are made of hexagonal boron nitride (h-BN), vanadium nitride (VN), vanadium carbide (VC), or polyester and are contained so as to have an area ratio of 7.5-35% relative to the thermally sprayed coating film (2).
La présente invention concerne un support de cuisson et un procédé de fabrication de ce support de cuisson qui permettent d'éviter l'apparition de défauts dans un produit en raison de la réaction du support de cuisson avec un objet en cours de cuisson ou du fait de rayures formées sur un objet en cours de cuisson par le support de cuisson. Selon la présente invention, le support de cuisson est produit par la formation d'un film de revêtement appliqué par pulvérisation thermique (2) sur une surface (1) sur laquelle doit être placé un objet à cuire, le film de revêtement appliqué par pulvérisation thermique (2) comprenant un matériau de matrice (3) en molybdène (Mo) ou en tungstène (W) dans lequel sont dispersées des particules formant des pores, et l'objet à cuire ayant un substrat en molybdène (Mo) ou en tungstène (W). Les particules formant des pores sont constituées de nitrure de bore hexagonal (h-BN), de nitrure de vanadium (VN), de carbure de vanadium (VC) ou de polyester et sont contenues de manière à avoir un rapport de surface de 7,5 à 35% par rapport au film de revêtement appliqué par pulvérisation thermique (2).
被焼成物と反応を生じたり当該被焼成物にキズを与えたりすることによる不良品の発生を防止することができる焼成用セッターおよびその製造方法を提供する。本発明によれば、モリブデン(Mo)またはタングステン(W)からなる基材(1)の被焼成物が載置される表面に、モリブデン(Mo)またはタングステン(W)からなるマトリックス材(3)中に気孔生成粒子が分散された溶射皮膜(2)が形成されてなり、かつ上記気孔生成粒子は、六方晶窒化ホウ素(h-BN)、窒化バナジウム(VN)、炭化バナジウム(VC)またはポリエステルであるとともに、当該溶射皮膜(2)における気孔生成物面積率が7.5~35%の範囲になるように配合されている。
FIRING SETTER AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
SUPPORT DE CUISSON ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ASSOCIÉ
焼成用セッターおよびその製造方法
KOYAMA MOTOTSUGU (author) / KURASE MASAHIRO (author) / HOTTA TOSHIO (author) / NISHIDA FUSATOSHI (author) / YAMAMOTO EISUKE (author) / SHINOZAKI AKIHIRO (author)
2019-05-16
Patent
Electronic Resource
Japanese