A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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PROCESS FOR MANUFACTURING A SILICON CARBIDE COATED BODY
The present invention relates to a new process for manufacturing a silicon carbide (SiC) coated body by depositing SiC in a chemical vapor deposition method using dimethyldichlorosilane (DMS) as the silane source on a graphite substrate. A further aspect of the present invention relates to the new silicon carbide coated body, which can be obtained by the new process of the present invention, and to the use thereof for manufacturing articles for high temperature applications, susceptors and reactors, semiconductor materials, and wafer.
La présente invention concerne un nouveau processus de fabrication d'un corps revêtu de carbure de silicium (SiC) par le dépôt de SiC dans un procédé de dépôt chimique en phase vapeur utilisant du diméthyldichlorosilane (DMS) comme source de silane sur un substrat de graphite. Un autre aspect de la présente invention concerne le nouveau corps revêtu de carbure de silicium, qui peut être obtenu par le nouveau processus de la présente invention, et son utilisation pour la fabrication d'articles pour des réacteurs, des suscepteurs et des applications à haute température, des matériaux semi-conducteurs et des tranches.
PROCESS FOR MANUFACTURING A SILICON CARBIDE COATED BODY
The present invention relates to a new process for manufacturing a silicon carbide (SiC) coated body by depositing SiC in a chemical vapor deposition method using dimethyldichlorosilane (DMS) as the silane source on a graphite substrate. A further aspect of the present invention relates to the new silicon carbide coated body, which can be obtained by the new process of the present invention, and to the use thereof for manufacturing articles for high temperature applications, susceptors and reactors, semiconductor materials, and wafer.
La présente invention concerne un nouveau processus de fabrication d'un corps revêtu de carbure de silicium (SiC) par le dépôt de SiC dans un procédé de dépôt chimique en phase vapeur utilisant du diméthyldichlorosilane (DMS) comme source de silane sur un substrat de graphite. Un autre aspect de la présente invention concerne le nouveau corps revêtu de carbure de silicium, qui peut être obtenu par le nouveau processus de la présente invention, et son utilisation pour la fabrication d'articles pour des réacteurs, des suscepteurs et des applications à haute température, des matériaux semi-conducteurs et des tranches.
PROCESS FOR MANUFACTURING A SILICON CARBIDE COATED BODY
PROCESSUS DE FABRICATION D'UN CORPS REVÊTU DE CARBURE DE SILICIUM
GUERCIO PETER (author) / WESTPHAL PAUL (author)
2019-07-04
Patent
Electronic Resource
English