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METHOD FOR MANUFACTURING SILICON NITRIDE POWDER
This silicon nitride powder manufacturing method is characterized by comprising: a step for preparing raw material powder containing at least 90 mass% of a silicon powder; a step for loading a heat-resistant reaction vessel with the raw material powder; a step for obtaining a lumpy product through a combustion synthesis reaction by igniting the raw material powder loaded in the reaction vessel in a nitrogen atmosphere and then causing heat generated through combustion nitridation of silicon to propagate throughout the raw material powder; and a step for mechanically pulverizing the lumpy product under dry conditions.
Cette méthode de fabrication de poudre de nitrure de silicium est caractérisée en ce qu'elle comprend : une étape de préparation d'une poudre de matière première contenant au moins 90 % en masse d'une poudre de silicium ; une étape de chargement d'une cuve de réaction résistante à la chaleur avec la poudre de matière première ; une étape consistant à obtenir un produit en morceaux par une réaction de synthèse par combustion en allumant la poudre de matière première chargée dans la cuve de réaction dans une atmosphère d'azote, puis en amenant la chaleur générée par la nitruration par combustion de silicium à se propager dans la totalité de la poudre de matière première ; et une étape de pulvérisation mécanique du produit en morceaux dans des conditions sèches.
シリコン粉末を90質量%以上含む原料粉末を用意する工程;前記原料粉末を耐熱性反応容器に充填する工程;窒素雰囲気下で前記反応容器に充填された原料粉末に着火し、シリコンの窒化燃焼熱を該原料粉末全般に伝播させての燃焼合成反応により塊状生成物を得る工程;前記塊状生成物を乾式下で機械的粉砕する工程;を含むことを特徴とする窒化ケイ素粉末の製造方法。
METHOD FOR MANUFACTURING SILICON NITRIDE POWDER
This silicon nitride powder manufacturing method is characterized by comprising: a step for preparing raw material powder containing at least 90 mass% of a silicon powder; a step for loading a heat-resistant reaction vessel with the raw material powder; a step for obtaining a lumpy product through a combustion synthesis reaction by igniting the raw material powder loaded in the reaction vessel in a nitrogen atmosphere and then causing heat generated through combustion nitridation of silicon to propagate throughout the raw material powder; and a step for mechanically pulverizing the lumpy product under dry conditions.
Cette méthode de fabrication de poudre de nitrure de silicium est caractérisée en ce qu'elle comprend : une étape de préparation d'une poudre de matière première contenant au moins 90 % en masse d'une poudre de silicium ; une étape de chargement d'une cuve de réaction résistante à la chaleur avec la poudre de matière première ; une étape consistant à obtenir un produit en morceaux par une réaction de synthèse par combustion en allumant la poudre de matière première chargée dans la cuve de réaction dans une atmosphère d'azote, puis en amenant la chaleur générée par la nitruration par combustion de silicium à se propager dans la totalité de la poudre de matière première ; et une étape de pulvérisation mécanique du produit en morceaux dans des conditions sèches.
シリコン粉末を90質量%以上含む原料粉末を用意する工程;前記原料粉末を耐熱性反応容器に充填する工程;窒素雰囲気下で前記反応容器に充填された原料粉末に着火し、シリコンの窒化燃焼熱を該原料粉末全般に伝播させての燃焼合成反応により塊状生成物を得る工程;前記塊状生成物を乾式下で機械的粉砕する工程;を含むことを特徴とする窒化ケイ素粉末の製造方法。
METHOD FOR MANUFACTURING SILICON NITRIDE POWDER
MÉTHODE DE FABRICATION DE POUDRE DE NITRURE DE SILICIUM
窒化ケイ素粉末の製造方法
WAKAMATSU SATORU (author)
2019-09-06
Patent
Electronic Resource
Japanese
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