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METHOD FOR MANUFACTURING HOLDING DEVICE AND HOLDING DEVICE
The present invention prevents an overall temperature distribution from deviating from a desired distribution due to a characteristic of a manufacturing line, each manufacturing device, or the like. This method for manufacturing a holding device comprises: a step for preparing a first joining body which is provided with a not-yet-processed ceramic member having a first surface and a fifth surface disposed on the side opposite to the first surface and approximately parallel to the first surface, a base member, and a joining part disposed between the first surface of the not-yet-processed ceramic member and a third surface of the base member and joins the not-yet-processed ceramic member and the base member, wherein in a first direction in which the first surface and the third surface face each other with the joining part interposed therebetween, the thickness of the joining part becomes larger from one end side to the other end side in a second direction approximately perpendicular to the first direction of the joining part; and a step for processing the fifth surface of the not-yet-processed ceramic member in the first joining body.
La présente invention empêche une distribution de température globale de dévier d'une distribution souhaitée en raison d'une caractéristique d'une ligne de fabrication, de chaque dispositif de fabrication ou similaire. Ce procédé de fabrication d'un dispositif de maintien comprend : une étape de préparation d'un premier corps d'assemblage qui est pourvu d'un élément en céramique non encore traité ayant une première surface et une cinquième surface disposée sur le côté opposé à la première surface et approximativement parallèle à la première surface, un élément de base, et une partie de jonction disposée entre la première surface de l'élément en céramique non encore traité et une troisième surface de l'élément de base et joignant l'élément en céramique non encore traité et l'élément de base, dans une première direction dans laquelle la première surface et la troisième surface se faisant face, la partie de jonction étant interposée entre celles-ci, l'épaisseur de la partie de jonction devenant plus grande d'un côté d'extrémité à l'autre côté d'extrémité dans une seconde direction approximativement perpendiculaire à la première direction de la partie de jonction ; et une étape pour traiter la cinquième surface de l'élément en céramique non encore traité dans le premier corps de jonction.
製造ラインや製造装置等ごとの特性に起因して全体的な温度分布が所望の分布からずれることを抑制する。 保持装置の製造方法は、第1の表面と、第1の表面とは反対側に配置され、かつ、第1の表面に略平行な第5の表面と、を有する加工前セラミックス部材と、ベース部材と、加工前セラミックス部材の第1の表面とベース部材の第3の表面との間に配置され、加工前セラミックス部材とベース部材とを接合する接合部と、を備える第1の接合体であって、第1の表面と第3の表面とが接合部を介して対向する第1の方向において、接合部の厚さが、接合部における第1の方向に略垂直な第2の方向の一端側から他端側に向かって厚くなっている第1の接合体を準備する工程と、第1の接合体における加工前セラミックス部材の第5の表面を加工する工程と、を含む。
METHOD FOR MANUFACTURING HOLDING DEVICE AND HOLDING DEVICE
The present invention prevents an overall temperature distribution from deviating from a desired distribution due to a characteristic of a manufacturing line, each manufacturing device, or the like. This method for manufacturing a holding device comprises: a step for preparing a first joining body which is provided with a not-yet-processed ceramic member having a first surface and a fifth surface disposed on the side opposite to the first surface and approximately parallel to the first surface, a base member, and a joining part disposed between the first surface of the not-yet-processed ceramic member and a third surface of the base member and joins the not-yet-processed ceramic member and the base member, wherein in a first direction in which the first surface and the third surface face each other with the joining part interposed therebetween, the thickness of the joining part becomes larger from one end side to the other end side in a second direction approximately perpendicular to the first direction of the joining part; and a step for processing the fifth surface of the not-yet-processed ceramic member in the first joining body.
La présente invention empêche une distribution de température globale de dévier d'une distribution souhaitée en raison d'une caractéristique d'une ligne de fabrication, de chaque dispositif de fabrication ou similaire. Ce procédé de fabrication d'un dispositif de maintien comprend : une étape de préparation d'un premier corps d'assemblage qui est pourvu d'un élément en céramique non encore traité ayant une première surface et une cinquième surface disposée sur le côté opposé à la première surface et approximativement parallèle à la première surface, un élément de base, et une partie de jonction disposée entre la première surface de l'élément en céramique non encore traité et une troisième surface de l'élément de base et joignant l'élément en céramique non encore traité et l'élément de base, dans une première direction dans laquelle la première surface et la troisième surface se faisant face, la partie de jonction étant interposée entre celles-ci, l'épaisseur de la partie de jonction devenant plus grande d'un côté d'extrémité à l'autre côté d'extrémité dans une seconde direction approximativement perpendiculaire à la première direction de la partie de jonction ; et une étape pour traiter la cinquième surface de l'élément en céramique non encore traité dans le premier corps de jonction.
製造ラインや製造装置等ごとの特性に起因して全体的な温度分布が所望の分布からずれることを抑制する。 保持装置の製造方法は、第1の表面と、第1の表面とは反対側に配置され、かつ、第1の表面に略平行な第5の表面と、を有する加工前セラミックス部材と、ベース部材と、加工前セラミックス部材の第1の表面とベース部材の第3の表面との間に配置され、加工前セラミックス部材とベース部材とを接合する接合部と、を備える第1の接合体であって、第1の表面と第3の表面とが接合部を介して対向する第1の方向において、接合部の厚さが、接合部における第1の方向に略垂直な第2の方向の一端側から他端側に向かって厚くなっている第1の接合体を準備する工程と、第1の接合体における加工前セラミックス部材の第5の表面を加工する工程と、を含む。
METHOD FOR MANUFACTURING HOLDING DEVICE AND HOLDING DEVICE
PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF DE MAINTIEN ET DISPOSITIF DE MAINTIEN
保持装置の製造方法、および、保持装置
KURIBAYASHI MAKOTO (author) / INOUE MASAHIRO (author) / SAKAKIBARA TOSHIMASA (author)
2019-12-05
Patent
Electronic Resource
Japanese
HOLDING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING HOLDING DEVICE
European Patent Office | 2019
|Holding device and method of manufacturing holding device
European Patent Office | 2024
|Method for manufacturing holding device and holding device
European Patent Office | 2024
|METHOD FOR MANUFACTURING HOLDING DEVICE AND HOLDING DEVICE
European Patent Office | 2021
|HOLDING DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING HOLDING DEVICE
European Patent Office | 2020
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