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BRAZING PROCESSES FOR JOINING CERAMICS AND METALS, AND SEMICONDUCTOR PROCESSING AND INDUSTRIAL EQUIPMENT USING SAME
A brazing process using metal carbon alloys for joining ceramics to ceramics, ceramics to metals, and metals to metals. The joined pieces can be used in a wide variety of applications, and can include semiconductor processing equipment pieces, such as heaters and chucks, and industrial equipment components having a highly wear resistant surface layer.
L'invention concerne un procédé de brasage mettant en œuvre des alliages de carbone métallique pour assembler des céramiques à des céramiques, des céramiques à des métaux et des métaux à des métaux. Les pièces assemblées peuvent être mises en œuvre dans un grand choix d'applications, et peuvent comprendre des pièces d'équipement de traitement de semi-conducteurs, telles que des dispositifs de chauffage et des mandrins, et des éléments d'équipement industriel possédant une couche de surface très résistante à l'usure.
BRAZING PROCESSES FOR JOINING CERAMICS AND METALS, AND SEMICONDUCTOR PROCESSING AND INDUSTRIAL EQUIPMENT USING SAME
A brazing process using metal carbon alloys for joining ceramics to ceramics, ceramics to metals, and metals to metals. The joined pieces can be used in a wide variety of applications, and can include semiconductor processing equipment pieces, such as heaters and chucks, and industrial equipment components having a highly wear resistant surface layer.
L'invention concerne un procédé de brasage mettant en œuvre des alliages de carbone métallique pour assembler des céramiques à des céramiques, des céramiques à des métaux et des métaux à des métaux. Les pièces assemblées peuvent être mises en œuvre dans un grand choix d'applications, et peuvent comprendre des pièces d'équipement de traitement de semi-conducteurs, telles que des dispositifs de chauffage et des mandrins, et des éléments d'équipement industriel possédant une couche de surface très résistante à l'usure.
BRAZING PROCESSES FOR JOINING CERAMICS AND METALS, AND SEMICONDUCTOR PROCESSING AND INDUSTRIAL EQUIPMENT USING SAME
PROCÉDÉS DE BRASAGE DESTINÉS À ASSEMBLER DES CÉRAMIQUES ET DES MÉTAUX, ET TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEURS ET ÉQUIPEMENT INDUSTRIEL METTANT EN ŒUVRE CES DERNIERS
ELLIOT ALFRED (author) / ELLIOT BRENT (author)
2019-12-19
Patent
Electronic Resource
English
European Patent Office | 2022
|New brazing filler composites for ceramics to metals joining
British Library Online Contents | 1997
|Joining ceramics to metals using metallic foam
British Library Online Contents | 2008
|Thermochemistry of brazing ceramics and metals in air
British Library Online Contents | 2011
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