A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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ALUMINA CERAMIC AND PREPARATION METHOD THEREFOR
Disclosed are an alumina ceramic and a preparation method therefor. The method comprises the following steps: preparing alumina powder into a slurry to obtain an alumina slurry having a particle size D90 of less than or equal to 0.8 μm; drying the alumina slurry to obtain alumina fine powder; the content of alumina in the alumina powder being ≥ 99 wt%; heating and melting a photosensitive resin, a first dispersing agent and a lubricant, then adding the alumina fine powder and an ultraviolet absorber, and performing a vacuumizing treatment after mixing same uniformly to obtain an alumina light curing slurry; performing 3D printing and forming on the alumina light curing slurry to obtain an alumina ceramic green body; performing atmospheric degreasing and sintering on the alumina ceramic green body to obtain an alumina ceramic; and conditions for the atmospheric degreasing and sintering being as follows: increasing the temperature to 550°C to 650°C at a rate of (0.2 to 1)°C/min, maintaining the temperature for 6 h to 10 h, and then increasing the temperature to 1200 °C to 1400 °C at a rate of (1 to 5)°C/min, and maintaining the temperature for 5 h to 8 h. The alumina ceramic prepared by using the method has a high density and good mechanical properties, and can meet requirements of a semiconductor device for a ceramic material.
L'invention concerne une céramique d'alumine et un procédé de préparation s'y rapportant. Le procédé comprend les étapes suivantes : la préparation de poudre d'alumine sous forme d'une bouillie pour obtenir une bouillie d'alumine ayant une taille des particules D90 inférieure ou égale à 0,8 µm ; le séchage de la bouillie d'alumine pour obtenir de la fine poudre d'alumine, la teneur en alumine de la poudre d'alumine étant ≥ 99 % en poids ; le chauffage et la fusion d'une résine photosensible, d'un premier agent dispersant et d'un lubrifiant, puis l'addition de la fine poudre d'alumine et d'un absorbeur d'ultraviolets et la réalisation d'un traitement de mise sous vide après mélange homogène de ceux-ci pour obtenir une bouillie d'alumine photodurcissante ; la réalisation d'une impression 3D et d'un formage sur la bouillie d'alumine photodurcissante pour obtenir un corps cru en céramique d'alumine ; et la réalisation d'un dégraissage et d'un frittage atmosphériques sur le corps cru en céramique d'alumine pour obtenir une céramique d'alumine ; les conditions pour le dégraissage et le frittage atmosphériques étant les suivantes : l'augmentation de la température jusqu'à 550 °C à 650 °C à une vitesse de (0,2 à 1) °C/min, le maintien de la température pendant 6 h à 10 h, puis l'augmentation de la température jusqu'à 1200 °C à 1400 °C à une vitesse de (1 à 5) °C/min et le maintien de la température pendant 5 h à 8 h. La céramique d'alumine préparée à l'aide du procédé a une densité élevée et de bonnes propriétés mécaniques et peut satisfaire aux exigences d'un dispositif à semi-conducteur pour un matériau céramique.
本发明公开了一种氧化铝陶瓷及其制备方法，该方法包括如下步骤：将氧化铝粉制成浆料，得到粒径D90小于或等于0.8μm的氧化铝浆料；将氧化铝浆料干燥，得到氧化铝细粉；氧化铝粉中氧化铝的含量≥99wt％；将光敏树脂、第一分散剂和润滑剂加热融化后，加入氧化铝细粉和紫外光吸收剂，混合均匀后进行抽真空处理，得到氧化铝光固化浆料；将氧化铝光固化浆料经3D打印成型，得到氧化铝陶瓷坯体；将氧化铝陶瓷坯体经过常压脱脂烧结，得到氧化铝陶瓷；常压脱脂烧结的条件为：以(0.2～1)℃/min的速率升温至550℃～650℃，保温6h～10h，然后以(1～5)℃/min的速率升温至1200℃～1400℃，保温5h～8h。采用该方法制得的氧化铝陶瓷的致密度高、机械性能好，能够满足半导体设备对陶瓷材料的要求。
ALUMINA CERAMIC AND PREPARATION METHOD THEREFOR
Disclosed are an alumina ceramic and a preparation method therefor. The method comprises the following steps: preparing alumina powder into a slurry to obtain an alumina slurry having a particle size D90 of less than or equal to 0.8 μm; drying the alumina slurry to obtain alumina fine powder; the content of alumina in the alumina powder being ≥ 99 wt%; heating and melting a photosensitive resin, a first dispersing agent and a lubricant, then adding the alumina fine powder and an ultraviolet absorber, and performing a vacuumizing treatment after mixing same uniformly to obtain an alumina light curing slurry; performing 3D printing and forming on the alumina light curing slurry to obtain an alumina ceramic green body; performing atmospheric degreasing and sintering on the alumina ceramic green body to obtain an alumina ceramic; and conditions for the atmospheric degreasing and sintering being as follows: increasing the temperature to 550°C to 650°C at a rate of (0.2 to 1)°C/min, maintaining the temperature for 6 h to 10 h, and then increasing the temperature to 1200 °C to 1400 °C at a rate of (1 to 5)°C/min, and maintaining the temperature for 5 h to 8 h. The alumina ceramic prepared by using the method has a high density and good mechanical properties, and can meet requirements of a semiconductor device for a ceramic material.
L'invention concerne une céramique d'alumine et un procédé de préparation s'y rapportant. Le procédé comprend les étapes suivantes : la préparation de poudre d'alumine sous forme d'une bouillie pour obtenir une bouillie d'alumine ayant une taille des particules D90 inférieure ou égale à 0,8 µm ; le séchage de la bouillie d'alumine pour obtenir de la fine poudre d'alumine, la teneur en alumine de la poudre d'alumine étant ≥ 99 % en poids ; le chauffage et la fusion d'une résine photosensible, d'un premier agent dispersant et d'un lubrifiant, puis l'addition de la fine poudre d'alumine et d'un absorbeur d'ultraviolets et la réalisation d'un traitement de mise sous vide après mélange homogène de ceux-ci pour obtenir une bouillie d'alumine photodurcissante ; la réalisation d'une impression 3D et d'un formage sur la bouillie d'alumine photodurcissante pour obtenir un corps cru en céramique d'alumine ; et la réalisation d'un dégraissage et d'un frittage atmosphériques sur le corps cru en céramique d'alumine pour obtenir une céramique d'alumine ; les conditions pour le dégraissage et le frittage atmosphériques étant les suivantes : l'augmentation de la température jusqu'à 550 °C à 650 °C à une vitesse de (0,2 à 1) °C/min, le maintien de la température pendant 6 h à 10 h, puis l'augmentation de la température jusqu'à 1200 °C à 1400 °C à une vitesse de (1 à 5) °C/min et le maintien de la température pendant 5 h à 8 h. La céramique d'alumine préparée à l'aide du procédé a une densité élevée et de bonnes propriétés mécaniques et peut satisfaire aux exigences d'un dispositif à semi-conducteur pour un matériau céramique.
本发明公开了一种氧化铝陶瓷及其制备方法，该方法包括如下步骤：将氧化铝粉制成浆料，得到粒径D90小于或等于0.8μm的氧化铝浆料；将氧化铝浆料干燥，得到氧化铝细粉；氧化铝粉中氧化铝的含量≥99wt％；将光敏树脂、第一分散剂和润滑剂加热融化后，加入氧化铝细粉和紫外光吸收剂，混合均匀后进行抽真空处理，得到氧化铝光固化浆料；将氧化铝光固化浆料经3D打印成型，得到氧化铝陶瓷坯体；将氧化铝陶瓷坯体经过常压脱脂烧结，得到氧化铝陶瓷；常压脱脂烧结的条件为：以(0.2～1)℃/min的速率升温至550℃～650℃，保温6h～10h，然后以(1～5)℃/min的速率升温至1200℃～1400℃，保温5h～8h。采用该方法制得的氧化铝陶瓷的致密度高、机械性能好，能够满足半导体设备对陶瓷材料的要求。
ALUMINA CERAMIC AND PREPARATION METHOD THEREFOR
CÉRAMIQUE D'ALUMINE ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION S'Y RAPPORTANT
氧化铝陶瓷及其制备方法
GAN ZHIJIAN (author) / CHENG YINBING (author) / YANG BIN (author) / ZHUANG ZHIJIE (author)
2021-12-16
Patent
Electronic Resource
Chinese
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
B33Y
ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
,
Additive (generative) Fertigung, d. h. die Herstellung von dreidimensionalen [3D] Bauteilen durch additive Abscheidung, additive Agglomeration oder additive Schichtung, z. B. durch 3D- Drucken, Stereolithografie oder selektives Lasersintern
ALUMINA COMPOSITE CERAMIC, PREPARATION METHOD THEREFOR, AND APPLICATION THEREFOR
| European Patent Office | 2022
ALUMINA CERAMIC POWDER WITH HIGH SINTERING ACTIVITY AND PREPARATION METHOD THEREFOR
| European Patent Office | 2024
ALUMINA CERAMIC CONJUGATE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
| European Patent Office | 2016
ZIRCONIA COMPOUNDED ALUMINA CERAMIC SINTERED BODY, PREPARATION METHOD THEREFOR AND USE THEREOF
| European Patent Office | 2021