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HYBRID CHEMICAL-PHYSICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS FOR THE SYNTHESIS OF ENVIRONMENTAL BARRIER COATINGS
A manufacturing process for the synthesis of environmental barrier coating system (EBC) which protect Si-based Ceramic Matrix Composite (CMC) material against oxidation and volatilization at high temperatures is disclosed. The manufacturing process is carried out in vacuum and comprises steps of depositing a silicon bond coat and an oxygen containing barrier coating. The process is supported by plasma, preferably through and arc discharge, which lead to full dissociation of the gas precursors such as silane. Plasma is as well used for pre-treatment of substrates in an uninterrupted process chain. A deposition system with essential vacuum and plasma components is disclosed as well as EBC coatings manufactured by the process.
L'invention concerne un procédé de fabrication pour la synthèse d'un système de revêtement formant une barrière environnementale (RBE) qui protège un matériau composite à matrice céramique (CMC) à base de Si contre l'oxydation et la volatilisation à des températures élevées. Le procédé de fabrication est mis en œuvre sous vide et comprend les étapes consistant à déposer une couche d'accrochage de silicium et un revêtement formant une barrière contenant de l'oxygène. Le procédé est supporté par plasma, de préférence par l'intermédiaire d'une décharge en arc, ce qui conduit à une dissociation complète des précurseurs gazeux tels que le silane. Le plasma est également utilisé pour le prétraitement de substrats dans une chaîne de traitement ininterrompue. L'invention concerne également un système de dépôt avec des constituants de vide et de plasma essentiels, ainsi que des revêtements RBE fabriqués à partir du procédé.
HYBRID CHEMICAL-PHYSICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS FOR THE SYNTHESIS OF ENVIRONMENTAL BARRIER COATINGS
A manufacturing process for the synthesis of environmental barrier coating system (EBC) which protect Si-based Ceramic Matrix Composite (CMC) material against oxidation and volatilization at high temperatures is disclosed. The manufacturing process is carried out in vacuum and comprises steps of depositing a silicon bond coat and an oxygen containing barrier coating. The process is supported by plasma, preferably through and arc discharge, which lead to full dissociation of the gas precursors such as silane. Plasma is as well used for pre-treatment of substrates in an uninterrupted process chain. A deposition system with essential vacuum and plasma components is disclosed as well as EBC coatings manufactured by the process.
L'invention concerne un procédé de fabrication pour la synthèse d'un système de revêtement formant une barrière environnementale (RBE) qui protège un matériau composite à matrice céramique (CMC) à base de Si contre l'oxydation et la volatilisation à des températures élevées. Le procédé de fabrication est mis en œuvre sous vide et comprend les étapes consistant à déposer une couche d'accrochage de silicium et un revêtement formant une barrière contenant de l'oxygène. Le procédé est supporté par plasma, de préférence par l'intermédiaire d'une décharge en arc, ce qui conduit à une dissociation complète des précurseurs gazeux tels que le silane. Le plasma est également utilisé pour le prétraitement de substrats dans une chaîne de traitement ininterrompue. L'invention concerne également un système de dépôt avec des constituants de vide et de plasma essentiels, ainsi que des revêtements RBE fabriqués à partir du procédé.
HYBRID CHEMICAL-PHYSICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS FOR THE SYNTHESIS OF ENVIRONMENTAL BARRIER COATINGS
PROCÉDÉ DE DÉPÔT HYBRIDE CHIMIQUE-PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR POUR LA SYNTHÈSE DE REVÊTEMENTS FORMANT UNE BARRIÈRE ENVIRONNEMENTALE
CHEN DIANYING (author) / WIDRIG BENO (author) / RAMM JUERGEN (author)
2023-06-08
Patent
Electronic Resource
English
Hybrid chemical-physical vapor deposition process for synthesizing environmental barrier coatings
| European Patent Office | 2024
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