A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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ALUMINA CERAMIC MEMBER, ALUMINA CERAMIC MEMBER PRODUCTION METHOD, COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
Provided is an alumina ceramic member comprising alumina polycrystals having an average particle diameter of 100 μm or less, wherein the grain boundary of the alumina polycrystals is doped with yttrium in a state other than a crystalline state of an oxide, a crystalline state of a garnet structure, and a non-crystalline state.
L'invention concerne un élément en céramique d'alumine comprenant des polycristaux d'alumine présentant un diamètre de particule moyen de 100 µm ou moins, la limite de grain des polycristaux d'alumine étant dopée avec de l'yttrium dans un état autre qu'un état cristallin d'un oxyde, un état cristallin d'une structure de grenat et un état non cristallin.
平均粒径が１００μｍ以下のアルミナ多結晶体を含有し、前記アルミナ多結晶体の粒界に、酸化物の結晶状態、ガーネット構造の結晶状態及び非結晶状態以外の状態のイットリウムがドープされている、アルミナセラミックス部材。
ALUMINA CERAMIC MEMBER, ALUMINA CERAMIC MEMBER PRODUCTION METHOD, COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
Provided is an alumina ceramic member comprising alumina polycrystals having an average particle diameter of 100 μm or less, wherein the grain boundary of the alumina polycrystals is doped with yttrium in a state other than a crystalline state of an oxide, a crystalline state of a garnet structure, and a non-crystalline state.
L'invention concerne un élément en céramique d'alumine comprenant des polycristaux d'alumine présentant un diamètre de particule moyen de 100 µm ou moins, la limite de grain des polycristaux d'alumine étant dopée avec de l'yttrium dans un état autre qu'un état cristallin d'un oxyde, un état cristallin d'une structure de grenat et un état non cristallin.
平均粒径が１００μｍ以下のアルミナ多結晶体を含有し、前記アルミナ多結晶体の粒界に、酸化物の結晶状態、ガーネット構造の結晶状態及び非結晶状態以外の状態のイットリウムがドープされている、アルミナセラミックス部材。
ALUMINA CERAMIC MEMBER, ALUMINA CERAMIC MEMBER PRODUCTION METHOD, COMPONENT FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
ÉLÉMENT EN CÉRAMIQUE D'ALUMINE, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'ÉLÉMENT EN CÉRAMIQUE D'ALUMINE, COMPOSANT POUR DISPOSITIF DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEUR ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
アルミナセラミックス部材、アルミナセラミックス部材の製造方法、半導体製造装置用部品及び基板処理装置
SATO MASANORI (author) / KAWABATA ATSUSHI (author) / KASHIMURA RYUSEI (author) / HIROSE JUN (author) / KATO KUNIHIKO (author) / SHIRAI TAKASHI (author)
2023-09-14
Patent
Electronic Resource
Japanese
| European Patent Office | 2024
European Patent Office | 2019
Alumina ceramic structural member and preparation method thereof
| European Patent Office | 2024
Alumina oxide ceramic production and processing equipment
| European Patent Office | 2020
ALUMINA CERAMIC AND MANUFACTURING METHOD OF ALUMINA CERAMIC
| European Patent Office | 2023