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YTTRIA-ZIRCONIA SINTERED CERAMICS FOR PLASMA RESISTANT MATERIALS
Disclosed is a ceramic sintered body comprising yttrium oxide and zirconium oxide wherein the ceramic sintered body comprises not less than 75 mol % to not greater than 95 mol % yttrium oxide and not less than 5 mol % to not greater than 25 mol % zirconium oxide, wherein the ceramic sintered body comprises porosity in an amount of less than 2% by volume, wherein a density of the ceramic sintered body does not vary by more than 2% relative to theoretical density across a greatest dimension. The ceramic sintered body has a grain size of from 0.4 to less than 2 um as measured according to ASTM E1 12-2010. The ceramic sintered body may be machined into plasma resistant components for use in plasma processing chambers. Methods of making are also disclosed.
La divulgation concerne un corps fritté en céramique comprenant de l'oxyde d'yttrium et de l'oxyde de zirconium, le corps fritté en céramique comprenant de 75 % en moles à 95 % en moles d'oxyde d'yttrium et de 5 % en moles à 25 % en moles d'oxyde de zirconium, le corps fritté en céramique comprenant une porosité dans une quantité inférieure à 2 % en volume, la densité du corps fritté en céramique ne variant pas de plus de 2 % par rapport à la densité théorique sur une plus grande dimension. Le corps fritté en céramique présente une granulométrie de 0,4 à moins de 2 µm telle que mesurée selon la norme ASTM E1 12-2010. Le corps fritté en céramique peut être usiné dans des composants résistant au plasma destinés à être utilisés dans des chambres de traitement au plasma. La divulgation porte également sur des procédés de fabrication.
YTTRIA-ZIRCONIA SINTERED CERAMICS FOR PLASMA RESISTANT MATERIALS
Disclosed is a ceramic sintered body comprising yttrium oxide and zirconium oxide wherein the ceramic sintered body comprises not less than 75 mol % to not greater than 95 mol % yttrium oxide and not less than 5 mol % to not greater than 25 mol % zirconium oxide, wherein the ceramic sintered body comprises porosity in an amount of less than 2% by volume, wherein a density of the ceramic sintered body does not vary by more than 2% relative to theoretical density across a greatest dimension. The ceramic sintered body has a grain size of from 0.4 to less than 2 um as measured according to ASTM E1 12-2010. The ceramic sintered body may be machined into plasma resistant components for use in plasma processing chambers. Methods of making are also disclosed.
La divulgation concerne un corps fritté en céramique comprenant de l'oxyde d'yttrium et de l'oxyde de zirconium, le corps fritté en céramique comprenant de 75 % en moles à 95 % en moles d'oxyde d'yttrium et de 5 % en moles à 25 % en moles d'oxyde de zirconium, le corps fritté en céramique comprenant une porosité dans une quantité inférieure à 2 % en volume, la densité du corps fritté en céramique ne variant pas de plus de 2 % par rapport à la densité théorique sur une plus grande dimension. Le corps fritté en céramique présente une granulométrie de 0,4 à moins de 2 µm telle que mesurée selon la norme ASTM E1 12-2010. Le corps fritté en céramique peut être usiné dans des composants résistant au plasma destinés à être utilisés dans des chambres de traitement au plasma. La divulgation porte également sur des procédés de fabrication.
YTTRIA-ZIRCONIA SINTERED CERAMICS FOR PLASMA RESISTANT MATERIALS
CÉRAMIQUES FRITTÉES À BASE D'YTTRIUM-ZIRCONE POUR MATÉRIAUX RÉSISTANT AU PLASMA
WALKER LUKE (author) / DONELON MATTHEW JOSEPH (author)
2023-01-12
Patent
Electronic Resource
English
YTTRIA-ZIRCONIA SINTERED CERAMICS FOR PLASMA RESISTANT MATERIALS
| European Patent Office | 2024
YTTRIA-ZIRCONIA SINTERED CERAMICS FOR PLASMA RESISTANT MATERIALS
| European Patent Office | 2024
PREPARATION OF YTTRIA-STABILIZED ZIRCONIA REACTION SINTERED PRODUCTS
| European Patent Office | 2017
Ductility observed in flash-sintered yttria-stabilized zirconia
| British Library Online Contents | 2018
ZIRCONIA-YTTRIA-SILICA SINTERED COMPOUND INCLUDING DIFFERENT CRYSTALLINE PHASE
| European Patent Office | 2016