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Mikrosystemtechnik: Rotationen im Uhrzeiger-Tempo messbar
Bei sich frei drehenden Objekten ist die Messung der Drehgeschwindigkeiten mit sehr hohem Aufwand verbunden. Die dazu notwendigen Sensoren existieren bereits, ihre enormen Kosten verhindern aber bisher den Masseneinsatz. Dabei gäbe es zahlreiche Anwendungen, vor allem im Fahr- und Flugzeugbereich sowie im Sicherheitsbereich. Ein neuartiger mikromechanischer Sensor könnte jetzt den Durchbruch schaffen. Am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft (IMIT) wurde ein mikromechanischer Rotationssensor mit einem Kernelement aus einkristallinem Silizium entwickelt, dessen Funktionsweise auf der Coriolis-Kraft basiert. Der Sensor trägt den Namen DAVED, Decoupled Angular VElocity Detector und er ist so empfindlich, dass sich damit freie Drehbewegungen bis herab zu 0,007° pro Sekunde messen lassen. Der Aufbau des Sensors, die physikalischen Effekte, auf denen das Messprinzip beruht, sowie die verschiedenen Einsatzmöglichkeiten werden in dem Beitrag geschildert.
Mikrosystemtechnik: Rotationen im Uhrzeiger-Tempo messbar
Bei sich frei drehenden Objekten ist die Messung der Drehgeschwindigkeiten mit sehr hohem Aufwand verbunden. Die dazu notwendigen Sensoren existieren bereits, ihre enormen Kosten verhindern aber bisher den Masseneinsatz. Dabei gäbe es zahlreiche Anwendungen, vor allem im Fahr- und Flugzeugbereich sowie im Sicherheitsbereich. Ein neuartiger mikromechanischer Sensor könnte jetzt den Durchbruch schaffen. Am Institut für Mikro- und Informationstechnik der Hahn-Schickard-Gesellschaft (IMIT) wurde ein mikromechanischer Rotationssensor mit einem Kernelement aus einkristallinem Silizium entwickelt, dessen Funktionsweise auf der Coriolis-Kraft basiert. Der Sensor trägt den Namen DAVED, Decoupled Angular VElocity Detector und er ist so empfindlich, dass sich damit freie Drehbewegungen bis herab zu 0,007° pro Sekunde messen lassen. Der Aufbau des Sensors, die physikalischen Effekte, auf denen das Messprinzip beruht, sowie die verschiedenen Einsatzmöglichkeiten werden in dem Beitrag geschildert.
Mikrosystemtechnik: Rotationen im Uhrzeiger-Tempo messbar
Lemme, Helmuth (author) / IHK Südöstl. Westfalen zu Arnsberg
Elektronik ; 49 ; 26, 28
2000-01-01
3 pages
Article (Journal)
German
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