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Der Einsatz keramischer Sensoren in der Messtechnik hat in den zurueckliegenden zehn Jahren einen gewaltigen Aufschwung genommen. Man unterscheidet zwei Arten von keramischen Fuehlern, die Festkoerperelektrolyte und die Halbleiter. - Oxidkeramische Festkoerperelektrolyte werden als Membranen in galvanischen Zellen eingesetzt. Haeufigster Festkoerperelektrolyt ist yttriumstabilisiertes Zirkonoxid. Zirkonoxid ist bei bestimmten Temperaturen leitfaehig fuer Sauerstoffionen und liefert ein elektrisches Signal, das proportional der anliegenden Partialdruckdifferenz des Sauerstoffs ist. Eingesetzt werden diese Sensoren bei der Rauchgasueberwachung und zur Messung von geloestem Sauerstoff in Stahlschmelzen. - Oxidkeramische Halbleiter werden als Dick- oder Duennfilme auf Substrate aufgetragen. Sie reagieren auf bestimmte Gase mit einer Aenderung der elektrischen Leitfaehigkeit. Ein typischer Vertreter dieser Gruppe ist der Feuchtigkeitsfuehler, bei dem Zinnoxid als Duennfilm aufgesputtert wird. Trotz beachtlicher Fortschritte liegen die Kosten fuer keramische Sensoren vergleichsweise hoch. Erst wenn es gelingt, preisguenstigere Fuehlersysteme herzustellen, kann der Markt erweitert werden, dessen momentaner weltweiter Umfang 500 Millionen Dollar betraegt.
Der Einsatz keramischer Sensoren in der Messtechnik hat in den zurueckliegenden zehn Jahren einen gewaltigen Aufschwung genommen. Man unterscheidet zwei Arten von keramischen Fuehlern, die Festkoerperelektrolyte und die Halbleiter. - Oxidkeramische Festkoerperelektrolyte werden als Membranen in galvanischen Zellen eingesetzt. Haeufigster Festkoerperelektrolyt ist yttriumstabilisiertes Zirkonoxid. Zirkonoxid ist bei bestimmten Temperaturen leitfaehig fuer Sauerstoffionen und liefert ein elektrisches Signal, das proportional der anliegenden Partialdruckdifferenz des Sauerstoffs ist. Eingesetzt werden diese Sensoren bei der Rauchgasueberwachung und zur Messung von geloestem Sauerstoff in Stahlschmelzen. - Oxidkeramische Halbleiter werden als Dick- oder Duennfilme auf Substrate aufgetragen. Sie reagieren auf bestimmte Gase mit einer Aenderung der elektrischen Leitfaehigkeit. Ein typischer Vertreter dieser Gruppe ist der Feuchtigkeitsfuehler, bei dem Zinnoxid als Duennfilm aufgesputtert wird. Trotz beachtlicher Fortschritte liegen die Kosten fuer keramische Sensoren vergleichsweise hoch. Erst wenn es gelingt, preisguenstigere Fuehlersysteme herzustellen, kann der Markt erweitert werden, dessen momentaner weltweiter Umfang 500 Millionen Dollar betraegt.
Sensors, thin films, electroder
Sensoren, Duennfilm-Fuehler, Elektroden
De Pous, O. (author)
1984
32 Seiten, 27 Bilder, 31 Quellen
Conference paper
English
Sprayed ZnO thin films for ethanol sensors
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|Thin Chitosan Films for Optical Gas Sensors
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|Doped thin metal oxide films for catalytic gas sensors
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|Piezoelectric Thin Films for Sensors, Actuators, and Energy Harvesting
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|High-Performance Sensors Based on Molybdenum Disulfide Thin Films
British Library Online Contents | 2013
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