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Preventing fab burnout: Recent developments in cleanroom fire protection
Nach dem Ersatz von Halon-Brandschutzsystemen sind automatische Sprüheinrichtungen zum Flammenlöschen am verbreitetsten. Ausgehend von der Anatomie einer Brandentstehung und des Feuers, wird auf das Luft-Sampling eingegangen, das zur Frühwarnung verwendet wird. Dabei werden in dem zu schützenden Raum Submicron-Teilchen überwacht und ihre Konzentration ermittelt. Wird eine bestimmte Konzentration überschritten, so wird ein Alarmsystem angesprochen.
Preventing fab burnout: Recent developments in cleanroom fire protection
Nach dem Ersatz von Halon-Brandschutzsystemen sind automatische Sprüheinrichtungen zum Flammenlöschen am verbreitetsten. Ausgehend von der Anatomie einer Brandentstehung und des Feuers, wird auf das Luft-Sampling eingegangen, das zur Frühwarnung verwendet wird. Dabei werden in dem zu schützenden Raum Submicron-Teilchen überwacht und ihre Konzentration ermittelt. Wird eine bestimmte Konzentration überschritten, so wird ein Alarmsystem angesprochen.
Preventing fab burnout: Recent developments in cleanroom fire protection
Neuere Entwicklungen im Brandschutz von Reinräumen
Doin, D.M. (author) / Vorsheim, G.A. jun. (author)
Solid State Technology ; 37 ; 109-113
1994
3 Seiten, 3 Bilder, 3 Tabellen, 3 Quellen
Article (Journal)
English
Halbleitertechnologie , Fertigungsanlage , Reinraumtechnik , Wasser , Brandschutz , Löschmittel , Feuermeldetechnik , Spritzen , Warnsystem , Alarmanlage (Warngerät) , Frühwarnsystem , Teilchendetektor , Teilchengröße , Rauchgas , Submikrometerbereich , Kohlendioxid , Luftüberwachung , Verbrennung (Oxidation)
Recent developments in fire protection engineering
Engineering Index Backfile | 1929
|Recent developments in protection against fire
Engineering Index Backfile | 1945
|Recent developments in fire protection engineering
Engineering Index Backfile | 1929
|British Library Online Contents | 2000
|Fire hazards of wafer carriers in cleanroom environment
Tema Archive | 2003
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