FTIR reflectance characterization of SIMOX buried oxide layers [3425-01]: Fid-Bau Portal

FTIR reflectance characterization of SIMOX buried oxide layers [3425-01]

Yakovlev, V. A. / Charpenay, S. / Rosenthal, P. A. / Solomon, P. R. / SPIE

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Titel:

FTIR reflectance characterization of SIMOX buried oxide layers [3425-01]

Beteiligte:

Yakovlev, V. A. (Autor:in) / Charpenay, S. (Autor:in) / Rosenthal, P. A. (Autor:in) / Solomon, P. R. (Autor:in) / Datla, R. V. / Hanssen, L. M. / SPIE

Kongress:

Conference, Optical diagnostic methods for inorganic transmissive materials ; 1998 ; San Diego; CA

Erschienen in:

Optical diagnostic methods for inorganic transmissive materials ; 2-9

PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

8 pages

ISBN:

0819428809

ISSN:

0277-786X

Medientyp:

Aufsatz (Konferenz)

Format:

Sprache:

Englisch

Schlagwörter:

optical diagnostic methods , inorganic transmissive materials , SPIE , transmissive materials

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