Fabrication of Piezoelectric Ultrathin Films for MEMs and Sensors by the Electrostatic Self-Assembly Process: Fid-Bau Portal

Fabrication of Piezoelectric Ultrathin Films for MEMs and Sensors by the Electrostatic Self-Assembly Process

Zeng, T. / Du, W. / Zhang, F. / Rosidian, A. / Claus, R. O. / Liu, Y. / Cooper, K. L.

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Titel:

Fabrication of Piezoelectric Ultrathin Films for MEMs and Sensors by the Electrostatic Self-Assembly Process

Beteiligte:

Zeng, T. (Autor:in) / Du, W. (Autor:in) / Zhang, F. (Autor:in) / Rosidian, A. (Autor:in) / Claus, R. O. (Autor:in) / Liu, Y. (Autor:in) / Cooper, K. L. (Autor:in) / Chang, F.-K.

Kongress:

International workshop; 2nd, Structural health monitoring ; 1999 ; Stanford, CA

Erschienen in:

Structural health monitoring ; 625-634

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

10 pages

ISBN:

1566768810

Medientyp:

Aufsatz (Konferenz)

Format:

Sprache:

Englisch

Schlagwörter:

structural health monitoring

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