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A Piezoelectric Micropump Based on MEMS Fabrication

Wang, B.W. / Chua, X.C. / Li, L.T.

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Titel:

A Piezoelectric Micropump Based on MEMS Fabrication

Beteiligte:

Wang, B.W. (Autor:in) / Chua, X.C. (Autor:in) / Li, L.T. (Autor:in) / Pan, W. / Gong, J.

Erschienen in:

High-Performance Ceramics V Part 1 ; 215-217

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 368-372

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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