Nano-oxidation of semiconductor heterostructures with atomic force microscopes: technology and applications (Invited Paper) [4098-48]: Fid-Bau Portal

Nano-oxidation of semiconductor heterostructures with atomic force microscopes: technology and applications (Invited Paper) [4098-48]

Heinzel, T. M. / Luscher, S. / Fuhrer, A. / Salis, G. / Held, R. / Ensslin, K. / Wegscheider, W. / Bichler, M. / SPIE - International Society for Optical Engineering

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Heinzel, T. M. / Luscher, S. / Fuhrer, A. / Salis, G. / Held, R. / Ensslin, K. / Wegscheider, W. / Bichler, M. / SPIE - International Society for Optical Engineering

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Titel:

Nano-oxidation of semiconductor heterostructures with atomic force microscopes: technology and applications (Invited Paper) [4098-48]

Beteiligte:

Heinzel, T. M. (Autor:in) / Luscher, S. (Autor:in) / Fuhrer, A. (Autor:in) / Salis, G. (Autor:in) / Held, R. (Autor:in) / Ensslin, K. (Autor:in) / Wegscheider, W. (Autor:in) / Bichler, M. (Autor:in) / Andrews, D. L. / SPIE - International Society for Optical Engineering

Kongress:

Conference, Optical devices and diagnostics in materials science ; 2000 ; San Diego, CA

Erschienen in:

Optical devices and diagnostics in materials science ; 52-64

PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 4098

Erscheinungsdatum:

01.01.2000

Format / Umfang:

13 pages

ISBN:

0819437433

ISSN:

0277-786X

Medientyp:

Aufsatz (Konferenz)

Format:

Sprache:

Englisch

Schlagwörter:

optical devices , SPIE , materials science , optical engineering

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