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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Characterization of radio-frequency sputtered AIN films by spectroscopic ellipsometry [6647-23]

    Beteiligte:

    Huang, D. (Autor:in) / Uppireddi, K. (Autor:in) / Pantojas, V.M. (Autor:in) / Otano-Rivera, W. (Autor:in) / Weiner, B.R. (Autor:in) / Morell, G. (Autor:in) / Smith, G.B. / Cortie, M.B. / Society of Photo-optical Instrumentation Engineers

    Kongress:

    Conference, Nanocoatings (Conference) ; 2007 ; San Diego, CA

    Erschienen in:

    Nanocoatings (Conference) ; 6647 0M

    PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING ; 6647

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2007

    Format / Umfang:

    6647 0M

    ISBN:

    9780819467959 , 0819467952

    ISSN:

    0277-786X

    Medientyp:

    Aufsatz (Konferenz)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Schlagwörter:

    Nanostructured materials , Plasmons (Physics) , Nanoparticles , Nanocoatings , SPIE

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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