Characterization of DC reactive magnetron sputtered NiO films using spectroscopic ellipsometry: Fid-Bau Portal

Characterization of DC reactive magnetron sputtered NiO films using spectroscopic ellipsometry

Peng, T. C. / Xiao, X. H. / Han, X. Y. / Zhou, X. D. / Wu, W. / Ren, F. / Jiang, C. Z.

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Titel:

Characterization of DC reactive magnetron sputtered NiO films using spectroscopic ellipsometry

Beteiligte:

Peng, T. C. (Autor:in) / Xiao, X. H. (Autor:in) / Han, X. Y. (Autor:in) / Zhou, X. D. (Autor:in) / Wu, W. (Autor:in) / Ren, F. (Autor:in) / Jiang, C. Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 5908-5912

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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