PECVD silicon oxides as studied by XPS, RBS, ERDA, IRS and ESR: Fid-Bau Portal

PECVD silicon oxides as studied by XPS, RBS, ERDA, IRS and ESR

Ermolieff, A. / Sindzingre, T. / Marthon, S. / Martin, P.

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Titel:

PECVD silicon oxides as studied by XPS, RBS, ERDA, IRS and ESR

Beteiligte:

Ermolieff, A. (Autor:in) / Sindzingre, T. (Autor:in) / Marthon, S. (Autor:in) / Martin, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 64 ; 175

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

175 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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