RBS-ERDA, XPS and XRD characterizations of PECVD tungsten nitride films: Fid-Bau Portal

RBS-ERDA, XPS and XRD characterizations of PECVD tungsten nitride films

Meunier, C. / Monteil, C. / Savall, C. / Palmino, F. / Weber, J. / Berjoan, R. / Durand, J.

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Titel:

RBS-ERDA, XPS and XRD characterizations of PECVD tungsten nitride films

Beteiligte:

Meunier, C. (Autor:in) / Monteil, C. (Autor:in) / Savall, C. (Autor:in) / Palmino, F. (Autor:in) / Weber, J. (Autor:in) / Berjoan, R. (Autor:in) / Durand, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 125 ; 313-320

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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