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RF plasma reactive pulsed laser deposition of boron nitride thin films

Mitu, B. / Bilkova, P. / Marotta, V. / Orlando, S. / Santagata, A.

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Titel:

RF plasma reactive pulsed laser deposition of boron nitride thin films

Beteiligte:

Mitu, B. (Autor:in) / Bilkova, P. (Autor:in) / Marotta, V. (Autor:in) / Orlando, S. (Autor:in) / Santagata, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 247 ; 123-127

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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