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Ion-assisted deposition in unbalanced-magnetron sputtering systems

Sproul, W. D.

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Titel:

Ion-assisted deposition in unbalanced-magnetron sputtering systems

Beteiligte:

Sproul, W. D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 163 ; 187

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

187 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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