Ti-N-C Films Deposited by Ion Beam Assisted MF Twin Targets Unbalanced Magnetron Sputtering: Fid-Bau Portal

Ti-N-C Films Deposited by Ion Beam Assisted MF Twin Targets Unbalanced Magnetron Sputtering

Huang, Y. / Sun, S. N. / Wu, Y. F. / Ma, S. G. / Zhou, Y.

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Titel:

Ti-N-C Films Deposited by Ion Beam Assisted MF Twin Targets Unbalanced Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Huang, Y. (Autor:in) / Sun, S. N. (Autor:in) / Wu, Y. F. (Autor:in) / Ma, S. G. (Autor:in) / Zhou, Y. (Autor:in) / Han, Y. / Zhao, X. / Feng, Q.

Erschienen in:

Aerospace Materials ; 1729-1734

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 546/549

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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