Grazing-incidence X-ray characterization of amorphous SiO~xN~yH~z thin films: Fid-Bau Portal

Grazing-incidence X-ray characterization of amorphous SiO~xN~yH~z thin films

Brunel, M. / Ortega, L. / Cros, Y. / Viscaino, S.

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Titel:

Grazing-incidence X-ray characterization of amorphous SiO~xN~yH~z thin films

Beteiligte:

Brunel, M. (Autor:in) / Ortega, L. (Autor:in) / Cros, Y. (Autor:in) / Viscaino, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 65//66 ; 289

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

289 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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